㈠ 光柵尺的工作原理和種類
光柵尺,也稱為光柵尺位移感測器(光柵尺感測器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用於數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用於對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。
工作原理:
莫爾條紋
以透射光柵為例,當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,並且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位於幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為「莫爾條紋」 (右圖所示)。嚴格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特徵:
(1)莫爾條紋的變化規律
兩片光柵相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由於光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數,變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由於傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,消除了由於柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
種類:
光柵可以分為閉式光柵和開式光柵。閉式光柵:為了防塵,把光柵及讀數頭組合並封閉在鋁長盒內;開式光柵:光柵及讀數頭均暴露在空氣中。
光柵還可分為絕對光柵和相對光柵。絕對光柵:讀數頭在光柵的任一位置,其讀數均是固定的;相對光柵(增量式光柵):讀數頭在任一位置的讀數並不一定,和所設的零點位置或預置點的讀數有關,任一位置的讀數皆是從所設點(零點或預置數)按增減脈沖的計數來顯示位置。