機械手臂和晶圓承載裝置

1. 陶瓷機械手臂的用途是什麼

1. 陶瓷搬運臂，也稱為末端執行器或機械手，是機械臂系統中的關鍵部件，專門用於在不同的位置之間搬運和處理半導體晶片。
2. 在當今科技快速發展的時代，半導體行業的重要性日益凸顯，並且已經形成了一個完整的產業鏈。
3. 本文將重點介紹半導體行業中常用的陶瓷搬運臂。由於晶圓硅晶片的尺寸微小，搬運過程中需要格外小心，因此陶瓷搬運臂的設計至關重要。
4. 陶瓷搬運臂在半導體生產過程中扮演著操縱和搬運硅晶片的角色，它不僅能在大氣環境中工作，也能在真空環境中承載和處理零件。
5. 為了確保搬運過程的快速和安全，陶瓷搬運臂必須具備極佳的熱穩定性和尺寸穩定性，同時不能污染環境和微粒。
6. 科研人員經過多年的研究，發現精細陶瓷材料是製造半導體陶瓷臂的最佳選擇。這種材料因其耐高溫、耐磨性能卓越而脫穎而出。
7. 精細陶瓷材料製成的陶瓷搬運臂相比其他材料具有顯著優勢，包括增強的功能、減少對晶片或玻璃面板的損壞，以及防止污染的擴散。
8. 在精細陶瓷材料中，氧化鋁材料製作的陶瓷搬運臂性價比最高。這些搬運臂具有高純度、優良的氣密性、耐磨性和防靜電特性。
9. 鈞傑陶瓷加工的氧化鋁陶瓷搬運臂平面度可以達到0.01，遠超一般標准。
10. 半導體晶圓搬運臂通常需要在高達2200℃的高溫環境中工作。精細陶瓷材料的熱膨脹系數高達13×10^6，從20℃到1000℃的變化范圍內都能保持這種性能，這是許多其他材料無法比擬的。
11. 精細陶瓷材料特別是氧化鋁材料，因其出色的耐高溫能力而被廣泛應用於半導體晶圓搬運臂的製造。
12. 除了耐高溫性能，陶瓷搬運臂還需要具備高硬度和高耐磨性。精細陶瓷製作的搬運臂硬度僅次於金剛石，耐磨性也遠超鋼和鉻鋼。
13. 與其他精細陶瓷材料相比，氧化鋁陶瓷不僅性能滿足陶瓷搬運臂的要求，而且價格更為經濟實惠。

2. 陶瓷機械手指陶瓷手臂的用途有哪些

陶瓷機械手又稱陶瓷手指、陶瓷手臂。末端執行器等，(陶瓷機械手)構成機械臂的末端，用於在不同位置之間操作和移動半導體晶片。它基本上是機器人的手，所以它的熱穩定性和尺寸穩定性很重要，並且不會用顆粒或化學污染物污染腔室。
陶瓷臂用於在半導體工藝的整個生產過程中操縱和攜帶矽片。它可以處理大尺寸的晶圓，並且可以設計真空通道來固定零件。
在機器人技術中，末端執行器是一種連接到機器人手臂末端的設備或工具，手將在該末端。末端執行器是機器人與環境交互的部分。末端執行器的結構以及驅動它的編程和硬體的性質取決於機器人將執行的任務。如果機器人需要拿起東西，一種稱為抓手的機器人手是最有效的末端執行器。
陶瓷具有優越的機械、電氣和熱性能，是優質部件的理想選擇。精細陶瓷的耐久性使其成為研磨性機械和熱負載以及化學惡劣環境的理想選擇。

3. 探針台探針台簡介

探針台是一種用於進行電子元件和半導體器件測試的精密設備。它們可以根據操作方式和功能進行分類，主要分為手動、半自動和全自動三種類型。手動探針台通常較小，適用於4英寸的晶圓和類似的領域，如晶圓廠、LED以及學術單位。這類探針台的Chuck尺寸為100mm，X、Y軸移動行程為100mm，Chuck的Z軸方向可以升降10mm（根據需求選擇）。它們常搭配顯微鏡使用，針座最多可擺放4顆針，適用於較小的測試需求。

半自動探針台的尺寸稍大，Chuck尺寸為800mm和600mm，X、Y軸的電動移動行程分別為200mm和150mm。Chuck的粗調升降范圍為9mm，微調升降范圍為16mm。這類設備可以搭配MITUTOYO金相顯微鏡或AEC實體顯微鏡，針座數量可達到6至8顆。顯微鏡的X、Y、Z移動范圍為2"x2"x2"，並支持Probe card測試。它們主要應用於8英寸和6英寸的晶圓以及IC測試產品。

全自動探針台的Chuck尺寸為1200mm，精度更高，平坦度在1u（不銹鋼或鍍金），X、Y軸的電動移動行程為300mm x 300mm。Chuck的粗調升降范圍為9mm，微調升降范圍為16mm，微調精度為1u。此類設備同樣可以搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或AEC實體顯微鏡，針座數量為8至12顆。顯微鏡的X、Y、Z移動范圍為2"x2"x2"，材質為花崗岩檯面+不銹鋼，支持Probe card測試。這類全自動探針台適用於12英寸的晶圓以及IC測試產品。

LCD探針台是專門為LCD面板測試而設計的，分為半自動和手動兩種。半自動LCD探針台配備機械手臂進行取放操作，支持坐標輸入以定址位置，測試尺寸范圍包括1800x1600、1300x1200、1200x1000等。手動LCD探針台則採用白熾燈或LED整面背光，用於TFT元件特性、Driver IC的量測分析。其機台尺寸為800x600、500x400、300x300等。

PCB量測探針台專門用於PCB的高頻測試，包括GSG / GS / SG等高頻測試探頭，頻率范圍從10GHZ到67GHZ不等。機台尺寸與LCD探針台相仿。太陽能產業探針台則適用於太陽能電池的量測，包括I-V/C-V曲線、Isc、Voc、Pmax、Imax、Vmax、RS、Fill Factor、Power Convert Efficiency等參數的測量。這些設備通常配備KEITHLEY Source Meter，並可加配任意品牌的太陽光模擬器，以進行全面的太陽能電池性能評估。

探針台主要應用於半導體行業以及光電行業的測試。 廣泛應用於復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，並縮減研發時間和器件製造工藝的成本。

4. 陶瓷機械手臂的用途是什麼

陶瓷搬運臂，又稱末端執行器、陶瓷機械手等，它構成機械臂的頂部，用於在位置之間處理和移動半導體晶片。

我們生活在科技日益發達的年代，半導體行業在三百六十行中占據的位置越來越廣闊，產業鏈也已經十分完善了。今天來自鈞傑陶瓷的小編要講的就是半導體行業中要用到的陶瓷搬運臂，眾所周知，晶圓硅晶片是十分微小的物件，並且轉移過程中必須十分小心。為了快捷安全的搬運，人們設計出了陶瓷搬運臂，在半導體工藝的整個生產過程中起到操縱和搬運硅晶片的作用。它不只是可以在真空通道中承載零件，還可以處理大尺寸的晶片。

陶瓷搬運臂，又稱末端執行器、陶瓷機械手等，它構成機械臂的頂部，用於在位置之間處理和移動半導體晶片。它相當於機器人的手，因此重要的是，它的熱穩定性和尺寸需要非常穩定，不會污染微粒以及化學污染物室。
經過多年經驗的積累，科研人員找到了製造半導體陶瓷臂較為合適的材料，那便是精細陶瓷材料。用精細陶瓷材料製作的半導體陶瓷臂相比於其他的材料有非常大的優勢，因為精細陶瓷材料耐高溫、耐磨性能比其他材料高上許多倍，其硬度更加是其他材料所不能比的，用精細陶瓷材料可以增強功能、減少對晶片/玻璃面板的損壞並阻止污染擴散。
在精細陶瓷材料製作的陶瓷搬運臂中，氧化鋁材料製作的陶瓷搬運臂性價比是其他精細陶瓷材料所不能比的。高純度的氧化鋁陶瓷，氣密性高，耐磨性強，防靜電，我們鈞傑陶瓷加工的氧化鋁陶瓷搬運臂平面度甚至可以達到0.01。
半導體晶圓搬運臂常用於2200 ℃的高溫環境，從20 ℃ -1000 ℃到2800 ℃冰點的熱膨脹系數可達13* 10∧6，這點是許多材料達不到的要求 。但是精細陶瓷材料可以，由氧化鋁材料製作的陶瓷搬運臂具有優良的耐高溫能力。
並且，半導體晶圓搬運臂還需要高硬度和高耐磨性，精細陶瓷製作的搬運臂的硬度不僅僅是只次於金剛石，而且其耐磨性也遠遠超過鋼和鉻鋼的耐磨性。陶瓷搬運臂比其他材料具有更好的耐磨性和硬度，氧化鋁陶瓷的耐磨性和硬度完全可以滿足陶瓷搬運臂的要求，而且比起其他精細陶瓷材料的價格，它更加實惠。