室內顆粒物檢測裝置

A. HIAC-8012自動顆粒計數器的檢測方法(詳細)

1、方法概述
在液壓潤滑系統中，油液的污染程度直接影響著液壓系統的性能和可靠性。這就要求我們必須將油液的污染度等級控制在系統許可的范圍內。以光阻法原理工作的顆粒檢測設備已成為廣為人們接受的一種測定油液污染度的主要工具。顆粒計數的准確性與操作技術有著很大的關系。本文詳細介紹顆粒檢測設備的正確操作規范。
2、設備簡介
（1）顆粒檢測設備
顆粒檢測設備由感測器、計數器及自動取樣器或類似允許液體直接通過感測器，然後進入測量容器而並不改變污染物尺寸分布的儀器組成。若顆粒檢測設備利用氣體將液體壓入感測器，則氣體應先通過一個0.45μm的過濾器，且應無油無水。建議采購：PLD-0201 0203等型號。
（2）玻璃量器
符合一定標準的一套帶刻度的移液管和量筒。這些玻璃儀器應根據ISO3722進行清洗和檢驗。
（3）樣液攪拌裝置
用來重新分散樣液中污染物的裝置。該裝置的使用不應改變污染物的基本尺寸分布。
（4）超聲浴池
超聲浴池既可以分散開液體中的顆粒結塊，又可以除去手工搖動帶來的氣泡。但經驗表明，樣液在超聲浴池中停留時間不應超過30s，否則瓶壁上的顆粒會脫落到樣液中，這對清潔度高的樣液有一定影響。通常使用的超聲浴池為4000W/m2。建議采購：PS-3200 超聲波振盪器 商標：PULL。
（5）取樣瓶
取樣瓶通常為柱狀玻璃容器或聚丙烯瓶，瓶壁應光滑，且為平底廣口以利清洗。可以使用不泄漏的螺紋帽作瓶蓋，也可以使用帶內部密封的瓶蓋。瓶的尺寸視計數器操作方便而定，通常為250mL。取樣瓶也應根據ISO3722進行清洗和檢驗。建議采購：PS-8011 清潔瓶 商標：PULL。
（6）電子天平
一台已校準好的電子天平，讀數精度為0.01mg。
（7）光學顯微鏡
當樣液中含有水或其它二相液體時，不要利用顆粒檢測設備來分析樣液，這時，需利用光學顯微鏡，根據國際標准ISO4407來測定樣液。
（8）真空抽濾裝置
該裝置用於過濾各種清洗溶劑。過濾一般通過0.45μm的過濾器，該過濾器應與所過濾的各種溶劑相容。建議采購：PSD-350 清潔過濾裝置 商標：PULL。
3、材料
（1）溶劑
清洗感測器、取樣瓶及玻璃儀器所用溶劑，包括蒸餾水/去離子水、洗滌劑、石油醚或乙醇，其中石油醚和乙醇應由0.45μm的濾膜過濾，並用真空過濾裝置。
（2）稀釋液
稀釋樣品所用液體。可用0.8μm濾膜過濾，也可用濾筒形式的過濾器（過濾效率β1≥75）過濾，稀釋液應與樣液及使用裝置相容，一般採用ISOVG5基礦物油或10號航空液壓油。
4、注意事項
（1）儀器應放置在干凈的環境中，以防在分析過程中，空氣中的灰塵進入樣液。合格的環境要求：
≥0.3μm顆粒≤100000個/m3
≥0.5μm顆粒≤35000個/m3
≥5μm顆粒≤200個/m3
≥10μm顆粒≤1個/m3
(2)由於液體自動顆粒計數器是一個靈敏度較高的精密儀器,所以應避免使它受到射頻干擾或電磁干擾。此外，應使用穩壓器以供給其穩定的電壓。
（3）在操作計數器過程中可能用到一些有害、有毒或易燃的化學葯品，所以必須有目的、有準備地測定顆粒，並保證化學葯品與所用儀器的兼容性。
（4）在測定樣液前，應先將儀器接通電源一段時間以使其穩定後再進行工作。測樣時，樣液的濃度不要超過廠家規定感測器濃度極限的50%，最低閾值為儀器雜訊電平的1.5倍。
（5）當樣液中含有鐵磁性顆粒時，不宜使用磁力攪拌棒。
（6）顆粒檢測設備應每6個月標定一次。對剛購買或剛維修後的計數器和感測器都應該進行標定。標定方法可根據現有的ISO4402利用ACFTD粉塵或根據修改後的ISO11171利用ISOMTD粉塵進行標定。建議：PS-4402或PS-11171 標准粒子比對液 容積：250ml。
5、樣液分析系統的操作規范
（1）系統清洗：
在利用感測器和顆粒檢測設備對油液進行分析時，必須保證所用感測器以及相連管路的清潔度，也即樣液分析系統必須先用事先過濾好的溶劑來清洗。清洗流量可採用比工作流量高50%的流量。可以通過分析一定量的清潔溶劑或稀釋液來檢驗系統的清潔度。合理的系統清潔度要求：粒徑≥2μm的顆粒數≤10個/mL，粒徑≥5μm的顆粒數≤2個/mL。
（2）樣液准備：
先用不起毛的綢布擦去取樣瓶外的可見污染物，然後視覺檢查樣液。如果樣液中含有水或其它二相液體時，不要利用顆粒檢測設備來分析樣液，因為這會影響顆粒檢測設備的正常工作，這時應根據ISO4407利用光學顯徽鏡進行計數；如果樣液光密度較大（指透不過光的深黑色樣液），或者粘度、顆粒污染度較大時，也不要直接在顆粒檢測設備上進行計數，而應先進行稀釋；當樣液不具有上述情況時，便可以直接利用顆粒檢測設備進行分析，但要求樣液的顆粒濃度必須低於廠家所推薦的感測器濃度極限值的50％，如果不能確定這一點，可以先取出一部分樣液，然後按一個比較高的稀釋比，例如20:1將其稀釋。通過分析該稀釋液就可以確定樣液能否直接分析以及最佳稀釋比是多少。
（3）污染物的再分散：若樣液已放置了一段時間，則會產生顆粒沉降、結塊，這時就需要在分析樣液前使污染物能夠均勻地分散在樣液中。具體方法為：
①先用手充分搖動樣液至少1min,也可以利用樣液攪動裝置或超聲浴池來使污染物再分散。如果使用的是超聲浴池，那麼應將取樣瓶垂直放置在浴池中，浴池中的水應恰低於取樣瓶中的液體刻線，浴振時間不應超過30s；
②將樣液瓶放入密封的玻璃罩內，在至少53.5kPa的真空下，將瓶蓋除去來脫氣，直到全部氣泡釋出為止；也可以將取樣瓶用蓋子蓋好後放置在超聲浴池內脫氣，直至外觀看不見氣泡為止。
（4）樣液分析
①樣液脫氣後應立即進行分析。在分析前，應先用少量被測樣液沖洗感測器至少兩次。
②應在儀器廠商所規定的感測器標定流量下分析樣液。
③每種樣液應至少計數3次，最小尺寸的顆粒計數誤差應小於10％，否則應分析誤差產生的原因，採取相應措施後重新計數。

B. 室內空氣檢測儀哪個品牌好呢麻煩給推薦下

PM2.5又叫細顆粒物，有時也稱細粒或細兆雀顆粒，是指大氣中直徑小於或等於2微米的顆粒物，這些微小的顆粒物雖然肉眼看不到，卻含有大量有毒、有害的物質，因為體積小、重量輕，可以長時間停留在大氣中，危害人的健康。顆粒物的大小決定了它們最終在呼吸道中的位置。較大的顆粒物往往會被纖毛和黏液過濾，無法通過鼻子和咽喉。小於2.5微米的顆粒物，由於體積小，可能抵達細支氣管壁，並干擾肺內的氣野虧體交換。家用空氣檢測儀器的價格不貴，但是檢測結果也是大概值，不會作為任何法律依據或者檢測數據。所以頌猜神可以根據自己家裡的情況選擇購買。

介紹一款主要是偏工業、室外用的PM2.5檢測儀器：CW-HAT200&CW-HAT200S高精度手持式PM2.5檢測儀是深圳賽納威專用於測量空氣中PM2.5(可入肺顆粒物)及PM10(可吸入顆粒物)數值的專用檢測儀器。 在應用高靈敏度微型激光感測器技術基礎上，自主開發出的集空氣動力學、數字信號處理、光機電一體化的高科技產品；該儀器具有測試精度高、性能穩定、多功能性強、操作簡單方便的特點，可廣泛適用於公共場所環境及大氣環境的測定 ,還可用於空氣凈化器凈化效率的評價分析。

C. 小米PM2.5檢測儀可以檢測甲醛嗎

不可以，PM2.5是檢測粒徑在2.5μm左右的空氣中的灰塵等可吸入顆粒物的含量。

測甲醛需要用專門的甲醛檢測儀，記得購買的時候讓賣家提供甲醛檢測儀的出廠合格證書和計量合格證書。

1、pm2.5檢測儀：檢測大氣中粒徑小於2.5μm細顆粒物質量的檢測儀。雖然細顆滑和粒物只是地球大氣成分中含量很少的組分，但它對瞎腔空氣質量和能見度等有重要的影響。細顆粒物粒徑小，有些細顆粒物富含大量的有毒、有害物質且在大氣中的停留時間長、輸送距離遠，因而對人體健康和大氣環境質量的影響更大。

2、甲醛檢測儀：是一種檢測甲醛的儀器。實現了現場對室內空氣中甲醛快速實現半定量、特點結構簡潔、體積小、便於攜帶使用和直觀的。可廣泛適合於居磨讓衫室、室內、居住區、公共場所、生活場所和廠礦車間空氣中甲醛的現場定量定性檢測。

(3)室內顆粒物檢測裝置擴展閱讀：

甲醛檢測儀使用注意事項有以下四點：

1、檢測用水必須是蒸餾水去離子水或者純凈水。、

2、氣泡吸收瓶且勿接入進氣孔，否則會產生倒吸，損壞儀器，損失吸收液。

3、所有玻璃器具在第一次使用前，需用化學試驗室中的酸洗液、自來水、蒸餾水清洗干凈。

4、每次檢測結束後應及時氣泡吸收瓶中有色溶液，再用酸洗液、自來水、蒸餾水清洗干凈。

參考資料來源：

網路-甲醛檢測儀

網路-pm2.5檢測儀

D. 遙感在線粉塵濃度監測裝置是什麼

通過微電腦激光控制來實現空氣中粉塵等顆粒物的監測的儀器。儀器的連續性使得其適用於監測顆粒、龍卷風粗並、除塵器或任何防塵設備的排放。通過微電腦激光控制來實現空氣中粉塵等顆粒物的監岩州跡測，最適合用於監測地下運輸系統、通風系統、室內工作場所，或任何其它監測煙氣跡胡、粉塵、煙霧等空氣質量，或需要即時數據的場所。

E. a3型室內空氣質量檢測儀怎麼用的

GY2014C空氣質量監測系統
GY2014C空氣質量監測系統是基於定電位電解感測器原理及國外光聲光譜PAS技術檢測污染氣體、光散射原理或β射線法檢測粉塵，並結合國外的PAS技術和網路通訊技術研製、開發出來的最新科技產品。該慎春棚系統符合國家對城市環境空氣自動監測系統的各項技術指標要求，國產化程度高，具有較強的實用性和理想的性能價格比，可替代同類進口產品，是開展城市環境空氣自動監測的理想儀器。
大氣污染物質量在線監測、現場測試。
環境空氣自動監測系統是基於定電位電解感測器原理及國外光聲光譜PAS技術檢測污染氣體、光散射原理或β射線法檢測粉塵，並結合國森孫外的PAS技術和網路通訊技術研製、開發出來的最新科技產品。該系統符合國家對城市環境空氣自動監測系統的各項技術指標要求，國產化程度高，具有較強的實用性和理想的性能價格比，可替代同類進口產品，是開展城市環境空氣自動監測的理想儀器。
系統組成
1.主機參數: 溫度、濕度、PM2.5、CO2、雜訊、風速風量等其它有毒氣體和外接擴展數碼圖片介面)
2.溫濕度百葉箱及粉塵百葉箱
3.采樣氣體裝置
4.說明書等資料；
5.備用電池及移動電源，用於無人值守的監測。
6.上位機軟體（選配）：攜帶型監測儀的歷史數據可以通過USB導出轉存至電腦，上位機軟體完成統計報表、數據分析、製作曲線、列印等功能。
產品性能特點：
●結構設計合理，亦可作為攜帶型儀器使用，也可自動在線連續監測；
●增加感測器可以同時監測氣體參數和可吸入顆粒物，並在屏幕上顯示出檢測值；
●採用進口高靈敏度的感測器，響應速度快，解析度高，線性好，檢測下限可達ppb級；
●測量濃度值可以實現mg/m3、ppm、ppb、μg/m3單位的切換，同時有動態圖象顯示；
●採用大屏幕圖形液晶顯示，可直觀動態顯示各種檢測數據、圖形、儀器工作狀態，提供全中文菜單和友好的人機對話界面；
●應用單片機技術和網路通訊技術相結合，採用數據存儲功能，不僅可提供方便的數據查詢方式；還可以通過USB介面將數據轉存至計算機，利用配套的上位機軟體自動計算日平均值、月平均值、污染指數、生成各種圖形數據標，並進行列印；
●採用機內寬則鋰電池供電或外接交流市電供電方式，如果外電源斷電後，設備內的電池可供儀器可連續工作8小時；

F. 要檢測塑料顆粒，用什麼樣的料位開關比較好

您好，這是一個關於料位開關的哪態中問題。料位開關是一種用於檢測固體或液體物料是否達到預設高度的裝置。檢測塑料顆粒的料位開關有以下幾種類型：
- 電容式料位開關：電容式料位開關通過電極形成一個電容器，當塑料顆粒覆蓋電極時，電容值會發生變化，從而觸發料位開關。¹
- 振動式料位開關：振動式料位開關通過振動棒產生振動，當塑料顆粒覆蓋振動棒時，振動的幅度會減小，此時開關可以檢測到料位的變化。¹²³
- 射頻導納式料位開關：射頻導納式料位開關通過高頻信號在兩個電極之間形成一個迴路，當塑料顆粒接觸兩個電極時，閉歲迴路的阻抗會發生變化，從而觸發料位開關。⁴
不同類型的料位開關有各自的優缺點，具體選擇哪一種要根據您的實際需求和條件來決定。例如：
- 電容式和射頻導納式的優點是不受外部振動和流動噪音影響，但缺點是易受靜電干擾和介質特性變化影響。
- 振動式的優點是抗粘附、免維護、無機械活動件、無磨損、使用壽命長，但缺點是受外部振動和流動噪音影響。
希望我的李山回答對您有所幫助。

G. 閥門顆粒物測試方法

顆粒物分析儀，用於分析氣體中的顆粒物信息；

采樣管道，包括相對設置的第一端和第二端；所述第一端用於與半導體處理腔室的排氣口連通，所述第二端用於與所述顆粒物分析儀連通；

所述采樣管道用於將所述半導體處理腔室中的氣體傳輸至所述顆粒物分析儀。

優選的，所述半導體處理腔室的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室中的氣體；

所述采樣管道的第一端用於與所述備用排氣口連通。

優選的吵返，還包括排氣管道；

所述半導體處理腔室的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室中的空氣；

所述排氣管道的一端用於與所述標准排氣口連通、另一端用於連通真空泵；

所述排氣管道上具有一采樣口，所述采樣管道的第一端用於與所述采樣口連通。

優選的，還包括閥門；所述閥門，設置於所述采樣管道中，用於控制所述半導體處理腔室與所述顆粒物分析儀是否導通。

優選的，還包括上位機；所述顆粒物分析儀，包括分析腔和控制器；

所述分析腔，用於對所述采樣管道傳輸的氣體中的顆粒物進行分析；

所述控制器，連接所述分析腔，用於將所述分析腔分析得到顆粒物信息傳輸至所述上位機。

優選的，所述顆粒物信息包括顆粒物粒徑和顆粒物濃度。

為了解決上述問題，本發明還提供了一種顆粒物檢測方法，包括如下步驟：

提供一采樣管道，所述采樣管道包括相對設置的第一端和第二端；所述第一端與半導體處理腔室的排氣口連通，所述第二端與顆粒物分析儀連通；所述顆粒物分析儀用於分析氣體中的顆粒物信息基迅；

獲取采樣氣體，所述采樣氣體是自所述半導體處理腔室經所述采樣管道傳輸至所述顆粒物分析儀的；

分析所述采樣氣體中的顆粒物信息。

優選的，所述半導體處理腔室的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室中的氣體；所述第一端與半導體處理腔室的排氣口連通的具體步驟包括：

連通所述第一端與所述備用排氣口。

優選的，所述顆粒物分析儀包括用於分析采樣氣體的分析腔；獲取采樣氣體之前還包括如下步驟：

排除所述分析腔內的氣體。

優選的，獲取采樣氣體之搏碰此前還包括如下步驟：

提供一閥門，所述閥門安裝於所述采樣管道中；

判斷是否接收到開啟所述閥門的指令，若是，則控制所述閥門開啟，導通所述半導體處理腔室與所述顆粒物分析儀。

優選的，還包括如下步驟：

設置采樣間隔，根據所述采樣間隔發出開啟所述閥門的指令。

優選的，分析所述采樣氣體中的顆粒物信息之後還包括如下步驟：

傳輸所述顆粒物信息至上位機。

優選的，所述顆粒物信息包括顆粒物粒徑和顆粒物濃度。

本發明提供的顆粒物檢測裝置及顆粒物檢測方法，通過采樣管道連通半導體處理腔室與顆粒物分析儀，使得在對半導體處理腔室內的顆粒物情況進行檢測的過程中，不需要對半導體設備進行停機，實現了對半導體處理腔室內部顆粒物情況的實時檢測，提高了顆粒物檢測的效率和准確度，確保了半導體製程持續、穩定的進行。

附圖說明

附圖1是本發明具體實施方式中顆粒物檢測裝置的結構示意圖；

附圖2是本發明具體實施方式中顆粒物檢測裝置的結構框圖；

附圖3是本發明具體實施方式中顆粒物檢測方法的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明提供的顆粒物檢測裝置及顆粒物檢測方法的具體實施方式做詳細說明。

在半導體製造過程中，半導體設備內部顆粒物情況，是確保半導體製程正常進行的重要條件。因此，需要對半導體設備內部的顆粒物信息進行檢測。由於大部分半導體設備在進行半導體處理工序時，需要處於密閉的真空或低壓狀態，此時，不能開啟半導體處理腔室的腔室門來進行顆粒物情況監測。目前，檢測半導體設備內部顆粒物信息的方法需要在半導體設備停機的狀態下進行，因此，無法對半導體製程過程中半導體設備內部的顆粒物情況進行實時監測。然而，即便在停機狀態下，顆粒物分析儀也無法直接採集半導體設備內部的氣體，而是要通過利用cw(continuouswave，連續波)對從所述半導體設備內取出的晶圓表面的情況進行分析，結合顆粒物分析儀來間接獲取半導體設備內部的顆粒物情況。這種方式，存在以下四個方面的缺陷：第一，需要額外增加半導體設備的停機時間，影響半導體製程的持續進行，降低了半導體的生產效率；第二，cw成本較高，導致半導體製造成本的增加；第三，不能對半導體設備運行過程中，其內部環境的顆粒物情況進行實時檢測，導致檢測結果的可靠性降低；第四，通過間接的方式獲得顆粒物情況的方法，可靠性較低，不能准確的反映半導體設備內部的顆粒物情況。

為了解決上述問題，本具體實施方式提供了一種顆粒物檢測裝置，附圖1是本發明具體實施方式中顆粒物檢測裝置的結構示意圖，附圖2是本發明具體實施方式中顆粒物檢測裝置的結構框圖。如圖1、2所示，本具體實施方式提供的顆粒物檢測裝置，包括顆粒物分析儀11和采樣管道13。

所述顆粒物分析儀11，用於分析氣體中的顆粒物信息；所述采樣管道13，包括相對設置的第一端和第二端；所述第一端用於與半導體處理腔室10的排氣口111連通，所述第二端用於與所述顆粒物分析儀11連通；所述采樣管道13用於將所述半導體處理腔室10中的氣體傳輸至所述顆粒物分析儀11。優選的，所述顆粒物信息包括顆粒物粒徑和顆粒物濃度。本具體實施方式中所述的顆粒物優選是粒徑大於或等於0.06微米的顆粒物。採用上述結構，無需在所述半導體處理腔室10上設置額外的開口，而是利用所述半導體處理腔室10已有的排氣口111作為氣體采樣口。所述采樣管道13與所述排氣口111連通後，即可實時採集所述半導體處理腔室10內部的氣體，從而實現對所述半導體處理腔室10內部顆粒物情況的實時檢測。

其中，所述半導體處理腔室10，是指對半導體器件進行工藝處理的腔室。本具體實施方式中的半導體處理腔室可以是干法刻蝕腔室、濕法刻蝕腔室、化學氣相沉積腔室、物理氣相沉積腔室等。

具體來說，當需要對所述半導體處理腔室10中的顆粒物情況進行檢測分析時，可以通過所述采樣管道13將所述半導體處理腔室10中的氣體直接采樣後傳輸至所述顆粒物分析儀11進行分析。整個過程不需要對半導體處理裝置進行停機處理，也無需價格高昂的cw設備，實現了對半導體處理腔室內部環境的顆粒物情況的實時檢測，確保了半導體製程持續、穩定的進行。

為了降低所述顆粒物檢測裝置的成本，且不影響半導體處理腔室內處理工藝的正常進行，優選的，所述半導體處理腔室10的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室中的空氣；所述采樣管道13的第一端用於與所述備用排氣口連通。

具體來說，為了確保半導體處理腔室10內部半導體處理工序的正常進行，經常需要使得所述半導體處理腔室10內部保持真空或低壓環境。所述標准排氣口就用於排除所述半導體處理腔室10內的空氣，使得所述半導體處理腔室內的氣壓達到預設值。而所述備用排氣口，在所述標准排氣口能夠正常排氣時，用於檢測所述半導體處理腔室10內部是否出現氣體泄漏；而在所述標准排氣口不能夠正常排氣時，還用於輔助所述標准排氣口排除所述半導體處理腔室10內部的空氣，且備用排氣口的數量通常為多個。因此，為了不影響所述半導體處理腔室10的正常排氣，所述采樣管道13的第一端優選與所述備用排氣口連通。

為了不影響所述半導體處理腔室的正常排氣，優選的，所述顆粒物檢測裝置還包括排氣管道14；所述半導體處理腔室10的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室中的空氣；所述排氣管道14的一端用於與所述標准排氣口連通、另一端用於連通真空泵12；所述排氣管道14上具有一采樣口141，所述采樣管道13的第一端用於與所述采樣口141連通。其中，所述真空泵12用於抽出所述半導體處理腔室10中的空氣，使得所述半導體處理腔室10中的工藝在真空條件下進行。通過將所述采樣管道13的第一端與所述排氣管道14上的所述采樣口141連通，藉助所述真空泵12的作用，可以更加快速的將所述半導體處理腔室10中的氣體傳輸至所述顆粒物分析儀11。

為了進一步提高所述半導體腔室內部顆粒物情況監測的靈活性，優選的，所述顆粒物檢測裝置還包括閥門15；所述閥門15，設置於所述采樣管道13中，用於控制所述半導體處理腔室10與所述顆粒物分析儀11是否導通。其中，所述閥門15可以是手動閥門，也可以是自動閥門，本領域技術人員可以根據實際需要進行設置。所述閥門15的設置，使得工作人員可以根據需要對所述半導體處理腔室10內部氣體環境取樣，減少所述顆粒物檢測裝置的整體功耗。

在具體的檢測過程中，工作人員可以根據需要保持所述閥門15常開狀態，以便於實時檢測所述半導體處理腔室10內部的顆粒物情況；也可以根據需要定期關閉所述閥門15，實現周期性的檢測所述半導體處理腔室10內部的顆粒物情況。

為了使得工作人員能夠直觀、准確的了解所述半導體處理腔室10內部的顆粒物情況，優選的，所述顆粒物檢測裝置還包括上位機23；所述顆粒物分析儀11，包括分析腔21和控制器22；所述分析腔21，用於對所述采樣管道13傳輸的氣體中的顆粒物進行分析；所述控制器22，連接所述分析腔21，用於將所述分析腔21分析得到顆粒物信息傳輸至所述上位機23。其中，所述控制器22將所述顆粒物信息傳輸至所述上位機23的具體方式，可以是有線傳輸，也可以是無線傳輸。

具體來說，所述分析腔21包括真空泵、粒徑感測器和濃度感測器。所述真空泵用於抽取所述半導體處理腔室10中的氣體；所述粒徑感測器，用於檢測氣體中顆粒物的粒徑，例如激光粒度感測器；所述濃度感測器用於檢測所述氣體中顆粒物的濃度。所述上位機23可以將接收到的顆粒物信息以文字或圖表的形式於所述上位機23的顯示屏顯示，以便工作人員能夠一目瞭然的知曉所述半導體處理腔室10內部的環境狀況。所述上位機23還可以向所述顆粒物分析儀11中的所述控制器22傳輸控制指令。所述控制器22根據接收到的控制指令，控制所述分析腔21中的真空泵對所述半導體處理腔室進行氣體采樣。

為了解決上述問題，本具體實施方式還提供了一種顆粒物檢測方法，附圖3是本發明具體實施方式中顆粒物檢測方法的流程圖。如圖3所示，本具體實施方式提供的顆粒物檢測方法，包括如下步驟：

步驟s31，提供一采樣管道13，所述采樣管道13包括相對設置的第一端和第二端；所述第一端與半導體處理腔室10的排氣口連通，所述第二端與顆粒物分析儀11連通；所述顆粒物分析儀11用於分析氣體中的顆粒物信息。所述采樣管道13、所述半導體處理腔室10與所述顆粒物分析儀11之間的連接關系參見圖1、2。

步驟s32，獲取采樣氣體，所述采樣氣體是自所述半導體處理腔室10經所述采樣管道13傳輸至所述顆粒物分析儀11的。

步驟s33，分析所述采樣氣體中的顆粒物信息。

為了降低所述顆粒物檢測裝置的成本，且不影響半導體處理腔室內處理工藝的正常進行，所述半導體處理腔室10的排氣口包括標准排氣口和備用排氣口，所述標准排氣口用於排除所述半導體處理腔室10中的氣體；所述第一端與半導體處理腔室10的排氣口連通的具體步驟包括：

連通所述第一端與所述備用排氣口。

為了避免所述顆粒物分析儀11內部殘留的氣體成分對所述半導體處理腔室內部顆粒物情況分析的影響，優選的，所述顆粒物分析儀11包括用於分析采樣氣體的分析腔21；獲取采樣氣體之前還包括如下步驟：

排除所述分析腔21內的氣體。

為了進一步提高所述半導體腔室內部顆粒物情況監測的靈活性，優選的，獲取采樣氣體之前還包括如下步驟：

(a)提供一閥門15，所述閥門15安裝於所述采樣管道13中；

(b)判斷是否接收到開啟所述閥門15的指令，若是，則控制所述閥門15開啟，導通所述半導體處理腔室10與所述顆粒物分析儀11。

更優選的，所述顆粒物檢測方法還包括如下步驟：

設置采樣間隔，根據所述采樣間隔發出開啟所述閥門15的指令。

其中，采樣間隔的具體數值，本領域技術人員可以根據實際需要進行設置，例如根據所述半導體處理腔室10內部所進行的半導體工藝類型，本具體實施方式對此不作限定。這樣，工作人員可以根據多次間隔性采樣分析的結果，得到半導體工藝進行過程中，所述半導體處理腔室10內部的顆粒物變化情況，對於改善半導體工藝製程，提高半導體成品性能，提供參考作用。

為了使得工作人員能夠直觀、准確的了解所述半導體處理腔室10內部的顆粒物情況，優選的，分析所述采樣氣體中的顆粒物信息之後還包括如下步驟：

傳輸所述顆粒物信息至上位機。

本具體實施方式提供的顆粒物檢測裝置及顆粒物檢測方法，通過采樣管道連通半導體處理腔室與顆粒物分析儀，使得在對半導體處理腔室內的顆粒物情況進行檢測的過程中，不需要對半導體設備進行停機，實現了對半導體處理腔室內部顆粒物情況的實時檢測，提高了顆粒物檢測的效率和准確度，確保了半導體製程持續、穩定的

H. 懸浮顆粒物的檢測

目前國內最常用的顆粒物檢測儀是激光粉塵儀。 激光粉塵儀該儀器適用於公共場所可吸入顆粒物（PM10）濃度的快速測定、工礦企業生產現場等勞動衛生方麵粉塵濃度的檢測，以及環境保護領域可吸入塵濃度的監測，還可用於空氣凈化器凈化效率的評價。有千台悄租以上儀器在全國各地使用，得到用戶好評。
儀器符合衛生部WS/T206-2001《公共場所空氣中可吸入顆粒物（PM10）測定法-光散射法》標准、勞動部LD98-1996《空氣中粉塵濃度的光散射式測定法》標准以及鐵道部TB/T2323-92《鐵路作業場所空氣儀器中粉塵測定相對質量濃度與質量濃度的轉換方法》等行業標准以及衛生部衛監督發〔2006〕58號文件頒布實施的《公共場所集中空調通風系統衛生規范》。
主要特點：
 可直讀顆粒物質量濃度（mg/m3），1分鍾出結果，或根據用戶需要任意設定采樣時間；
 測量快速、准確、檢測靈敏度高；
 設計了自校系統,儀器性能穩定可靠；
 具有氣幕屏蔽及潔凈氣自清洗功能，確保光學系統不受污染；
 實現了軟體自動調零；
 具有與計算機雙向通訊功能，可通過PC機進行數據處理，列印出曲線及表格；
 具有顆粒物濃度連續監測、定時采樣以及粉塵濃度超標報警等多種功能；
主要技術指標
檢測靈敏度：低靈敏度 0.01mg/m3 ；
高靈敏度 0.001 mg/m3 ；
測定范圍： 低靈敏度 0.01～100 mg/m3 ；
高靈敏度 0.001～10 mg/m3 ；
測定時間：采樣標准時間為1分鍾，設有0.1、1、2、5、10分鍾及調時檔（任意設定采樣時 間）；
重復性誤差：±2%；
測量精度： ±10%
顯 示 屏：帶標識4位液晶顯示器；
存 貯：可循環存儲99組數據；
定時采樣：可設定測量時間1～9999秒及采樣次數1～9999次
輸出介面：PC機通訊介面（RS232）及列印機輸出介面
環境溫度：0℃～40℃（儲存溫度－20℃～60℃）
電 源：交直流兩用，配充電電池及充電器
尺 寸：192×69×140 mm
重 量：1.4Kg 新型激光粉塵儀具有新世紀國際先進水平的新型內置濾膜在線采樣器的微電腦激光粉塵儀, 在連續監測粉塵濃度的同時, 可收集到顆粒物,以便對其成份進行分析，並求出宏族質量濃度轉換系數K值。可直讀粉塵質量濃度（mg/m）, 具有PM10、PM5、PM2.5及TSP切割器供選擇. 儀器採用了強力抽氣泵，使其更適合需配備較長采樣管的中央空調排氣口PM10可吸入顆粒物濃度的檢測。
儀器符合工業企業衛生標准（啟絕兆GBZ1-2002）、工作場所有害因素接觸限值（GBZ2-2002）標准、衛生部WS/T206-2001《公共場所空氣中可吸入顆粒物（PM10）測定法-光散射法》標准、勞動部LD98-1996《空氣中粉塵濃度的光散射式測定法》標准以及鐵道部TB/T2323-92《鐵路作業場所空氣中粉塵測定相對質量濃度與質量濃度的轉換方法》等行業標准以及衛生部衛法監發 [2003] 225號文件發布的《公共場所集中空調通風系統衛生規范》。
主要技術指標
1、 配置40mm濾膜在線采樣器;
2、 具有可更換粒子切割器PM10、PM5、PM2.5及TSP供選擇;
3、 直讀粉塵質量濃度（mg/m3）,1分鍾出結果;
4、 大屏幕液晶顯示器,漢字菜單提示;
5、 檢測靈敏度：（L） 0.01mg/m3； （H） 0.001mg/m3。
6、 重復性誤差：±2%
7、 測量精度： ±10%
8、測量范圍： （L） 0.01～100 mg/m； （H） 0.001～10 mg/m。
9、 測定時間：標准時間為1分鍾，設有0.1分及手動檔（可任意設定采樣時間）。
10、 具有公共場所監測模式、大氣環境監測模式以及勞動衛生模式。可計算出時間加權平均值（TWA）和短時間接觸允許濃度（STEL） 等。
11、 存 貯：可循環存儲99組數據。
12、定時采樣：可設定測量時間（1～9999）秒，關機時間（0～9999）秒，預熱時間（0～10）秒及采樣次數（1～9999）次。
13、 粉塵濃度超標報警閾值設定：濃度最大閾值: 65mg/m3；測定時間：（1～9999）秒
14、輸出介面：（1）PC機通訊串列介面：RS232；（2）微型列印機輸出介面；（3）模擬量輸出介面：0—1V；(4) 數字量輸出介面：電平信號。
15、 電源：Ni-MH充電電池組（1.2V x 4），可連續使用8小時；附220VAC/12VDC 電源適配器。
16、另配具有濕度修正功能，數據更加精確
17、 重量：2.4kg。

I. 室內空氣質量檢測儀哪個牌子好

伴隨著經濟的快速發展，在生活水平提高的情況下也給我們的生活帶來了一些壓力，就比方說環境問題，現在不管是室內還是室外空氣質量非常地大，一到冬天天天早上吸霧霾，這樣的狀況已經影響到了我們室內的空氣質量。為了知道室內空氣的質量情況，人們就研製出了室內空氣質亮困團量檢測儀，這種設備可以隨時告訴你室內的空氣情況，接下來小編就為大家詳細介紹幾個室內空氣質量檢測儀品牌吧!

室內空氣質量檢測儀哪個牌子好?

1.漢王霾表

漢王科技旗下,空氣智能監測引領者,專注於空氣質量檢測與凈化,擁有多項空氣檢測和凈化專利技術,北京漢王藍天科技有限公司

2.TSI

創自美國,全球領先的空氣檢測儀器服務商美,精密儀器設計和生產的行業領導者,提賽環科儀器貿易(北京)有限公司

3.華盛昌CEM

始於1991年,集專業開發/設計/生產各類測量儀表於一體的高新技術企業,知名品牌,深圳華盛昌機械實業有限公司

4.空氣電台AIRRADIO

國內較早從事氣體感測器研究生產的企業漢威電敬橘子旗下,專注於空氣健康生態鏈建設的創新型科技企業,北京威果智能科技有限公司

5.Dylos

專業致力於空氣粒子測試儀尺拿器研發製造的企業,享有較高聲譽的空氣質量檢測儀品牌,消費級空氣檢測儀領域頗具影響力品牌,美國Dylos公司。

6.空氣果

墨跡天氣推出的能提供溫度/濕度/二氧化碳/PM2.5等數據檢測的硬體產品,知名室內空氣檢測設備品牌,北京墨跡風雲科技股份有限公司

7.空氣堡AIRBURG

專注空氣質量及改善/室內空氣解決方案的企業,較具網路知名度的空氣檢測器品牌,管家式空氣服務提供商,北京愛空氣科技有限公司

8.遠大空

遠大集團旗下,全球空氣品質技術領袖,國內領先的潔凈新風機/手機式空氣檢測儀生產商,遠大空品科技有限公司

9.海爾空氣盒子

海爾智慧空氣生態圈重要硬體基礎,較早可進行空氣檢測和控制的智能終端,首個獲得國家氣象部門認證的空氣產品

10.甲保御

專業從事輻射與環保儀器的研發/生產/銷售及服務,國內較早的家用pm2.5檢測儀品牌,貝谷科技股份有限公司

以上小編給大家推薦的這十大室內空氣質量檢測儀品牌在整個市場上也是最好的，如果大家確實需要這種檢測空氣的設備的話就可以從以上的這些品牌當中去挑選。當然了，這些品牌之間也是有不少的差異的，大家在購買的時候可以根據自身的實際需求去購買，並且要掌握一些必要的選購技巧，爭取買到性價比最高的室內空氣質量檢測儀產品。