机械手臂和晶圆承载装置

1. 陶瓷机械手臂的用途是什么

1. 陶瓷搬运臂，也称为末端执行器或机械手，是机械臂系统中的关键部件，专门用于在不同的位置之间搬运和处理半导体晶片。
2. 在当今科技快速发展的时代，半导体行业的重要性日益凸显，并且已经形成了一个完整的产业链。
3. 本文将重点介绍半导体行业中常用的陶瓷搬运臂。由于晶圆硅晶片的尺寸微小，搬运过程中需要格外小心，因此陶瓷搬运臂的设计至关重要。
4. 陶瓷搬运臂在半导体生产过程中扮演着操纵和搬运硅晶片的角色，它不仅能在大气环境中工作，也能在真空环境中承载和处理零件。
5. 为了确保搬运过程的快速和安全，陶瓷搬运臂必须具备极佳的热稳定性和尺寸稳定性，同时不能污染环境和微粒。
6. 科研人员经过多年的研究，发现精细陶瓷材料是制造半导体陶瓷臂的最佳选择。这种材料因其耐高温、耐磨性能卓越而脱颖而出。
7. 精细陶瓷材料制成的陶瓷搬运臂相比其他材料具有显著优势，包括增强的功能、减少对晶片或玻璃面板的损坏，以及防止污染的扩散。
8. 在精细陶瓷材料中，氧化铝材料制作的陶瓷搬运臂性价比最高。这些搬运臂具有高纯度、优良的气密性、耐磨性和防静电特性。
9. 钧杰陶瓷加工的氧化铝陶瓷搬运臂平面度可以达到0.01，远超一般标准。
10. 半导体晶圆搬运臂通常需要在高达2200℃的高温环境中工作。精细陶瓷材料的热膨胀系数高达13×10^6，从20℃到1000℃的变化范围内都能保持这种性能，这是许多其他材料无法比拟的。
11. 精细陶瓷材料特别是氧化铝材料，因其出色的耐高温能力而被广泛应用于半导体晶圆搬运臂的制造。
12. 除了耐高温性能，陶瓷搬运臂还需要具备高硬度和高耐磨性。精细陶瓷制作的搬运臂硬度仅次于金刚石，耐磨性也远超钢和铬钢。
13. 与其他精细陶瓷材料相比，氧化铝陶瓷不仅性能满足陶瓷搬运臂的要求，而且价格更为经济实惠。

2. 陶瓷机械手指陶瓷手臂的用途有哪些

陶瓷机械手又称陶瓷手指、陶瓷手臂。末端执行器等，(陶瓷机械手)构成机械臂的末端，用于在不同位置之间操作和移动半导体晶片。它基本上是机器人的手，所以它的热稳定性和尺寸稳定性很重要，并且不会用颗粒或化学污染物污染腔室。
陶瓷臂用于在半导体工艺的整个生产过程中操纵和携带硅片。它可以处理大尺寸的晶圆，并且可以设计真空通道来固定零件。
在机器人技术中，末端执行器是一种连接到机器人手臂末端的设备或工具，手将在该末端。末端执行器是机器人与环境交互的部分。末端执行器的结构以及驱动它的编程和硬件的性质取决于机器人将执行的任务。如果机器人需要拿起东西，一种称为抓手的机器人手是最有效的末端执行器。
陶瓷具有优越的机械、电气和热性能，是优质部件的理想选择。精细陶瓷的耐久性使其成为研磨性机械和热负载以及化学恶劣环境的理想选择。

3. 探针台探针台简介

探针台是一种用于进行电子元件和半导体器件测试的精密设备。它们可以根据操作方式和功能进行分类，主要分为手动、半自动和全自动三种类型。手动探针台通常较小，适用于4英寸的晶圆和类似的领域，如晶圆厂、LED以及学术单位。这类探针台的Chuck尺寸为100mm，X、Y轴移动行程为100mm，Chuck的Z轴方向可以升降10mm（根据需求选择）。它们常搭配显微镜使用，针座最多可摆放4颗针，适用于较小的测试需求。

半自动探针台的尺寸稍大，Chuck尺寸为800mm和600mm，X、Y轴的电动移动行程分别为200mm和150mm。Chuck的粗调升降范围为9mm，微调升降范围为16mm。这类设备可以搭配MITUTOYO金相显微镜或AEC实体显微镜，针座数量可达到6至8颗。显微镜的X、Y、Z移动范围为2"x2"x2"，并支持Probe card测试。它们主要应用于8英寸和6英寸的晶圆以及IC测试产品。

全自动探针台的Chuck尺寸为1200mm，精度更高，平坦度在1u（不锈钢或镀金），X、Y轴的电动移动行程为300mm x 300mm。Chuck的粗调升降范围为9mm，微调升降范围为16mm，微调精度为1u。此类设备同样可以搭配MITUTOYO晶像显微镜或AEC实体显微镜，针座数量为8至12颗。显微镜的X、Y、Z移动范围为2"x2"x2"，材质为花岗岩台面+不锈钢，支持Probe card测试。这类全自动探针台适用于12英寸的晶圆以及IC测试产品。

LCD探针台是专门为LCD面板测试而设计的，分为半自动和手动两种。半自动LCD探针台配备机械手臂进行取放操作，支持坐标输入以寻址位置，测试尺寸范围包括1800x1600、1300x1200、1200x1000等。手动LCD探针台则采用白炽灯或LED整面背光，用于TFT元件特性、Driver IC的量测分析。其机台尺寸为800x600、500x400、300x300等。

PCB量测探针台专门用于PCB的高频测试，包括GSG / GS / SG等高频测试探头，频率范围从10GHZ到67GHZ不等。机台尺寸与LCD探针台相仿。太阳能产业探针台则适用于太阳能电池的量测，包括I-V/C-V曲线、Isc、Voc、Pmax、Imax、Vmax、RS、Fill Factor、Power Convert Efficiency等参数的测量。这些设备通常配备KEITHLEY Source Meter，并可加配任意品牌的太阳光模拟器，以进行全面的太阳能电池性能评估。

探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

4. 陶瓷机械手臂的用途是什么

陶瓷搬运臂，又称末端执行器、陶瓷机械手等，它构成机械臂的顶部，用于在位置之间处理和移动半导体晶片。

我们生活在科技日益发达的年代，半导体行业在三百六十行中占据的位置越来越广阔，产业链也已经十分完善了。今天来自钧杰陶瓷的小编要讲的就是半导体行业中要用到的陶瓷搬运臂，众所周知，晶圆硅晶片是十分微小的物件，并且转移过程中必须十分小心。为了快捷安全的搬运，人们设计出了陶瓷搬运臂，在半导体工艺的整个生产过程中起到操纵和搬运硅晶片的作用。它不只是可以在真空通道中承载零件，还可以处理大尺寸的晶片。

陶瓷搬运臂，又称末端执行器、陶瓷机械手等，它构成机械臂的顶部，用于在位置之间处理和移动半导体晶片。它相当于机器人的手，因此重要的是，它的热稳定性和尺寸需要非常稳定，不会污染微粒以及化学污染物室。
经过多年经验的积累，科研人员找到了制造半导体陶瓷臂较为合适的材料，那便是精细陶瓷材料。用精细陶瓷材料制作的半导体陶瓷臂相比于其他的材料有非常大的优势，因为精细陶瓷材料耐高温、耐磨性能比其他材料高上许多倍，其硬度更加是其他材料所不能比的，用精细陶瓷材料可以增强功能、减少对晶片/玻璃面板的损坏并阻止污染扩散。
在精细陶瓷材料制作的陶瓷搬运臂中，氧化铝材料制作的陶瓷搬运臂性价比是其他精细陶瓷材料所不能比的。高纯度的氧化铝陶瓷，气密性高，耐磨性强，防静电，我们钧杰陶瓷加工的氧化铝陶瓷搬运臂平面度甚至可以达到0.01。
半导体晶圆搬运臂常用于2200 ℃的高温环境，从20 ℃ -1000 ℃到2800 ℃冰点的热膨胀系数可达13* 10∧6，这点是许多材料达不到的要求 。但是精细陶瓷材料可以，由氧化铝材料制作的陶瓷搬运臂具有优良的耐高温能力。
并且，半导体晶圆搬运臂还需要高硬度和高耐磨性，精细陶瓷制作的搬运臂的硬度不仅仅是只次于金刚石，而且其耐磨性也远远超过钢和铬钢的耐磨性。陶瓷搬运臂比其他材料具有更好的耐磨性和硬度，氧化铝陶瓷的耐磨性和硬度完全可以满足陶瓷搬运臂的要求，而且比起其他精细陶瓷材料的价格，它更加实惠。