室内颗粒物检测装置

A. HIAC-8012自动颗粒计数器的检测方法(详细)

1、方法概述
在液压润滑系统中，油液的污染程度直接影响着液压系统的性能和可靠性。这就要求我们必须将油液的污染度等级控制在系统许可的范围内。以光阻法原理工作的颗粒检测设备已成为广为人们接受的一种测定油液污染度的主要工具。颗粒计数的准确性与操作技术有着很大的关系。本文详细介绍颗粒检测设备的正确操作规范。
2、设备简介
（1）颗粒检测设备
颗粒检测设备由传感器、计数器及自动取样器或类似允许液体直接通过传感器，然后进入测量容器而并不改变污染物尺寸分布的仪器组成。若颗粒检测设备利用气体将液体压入传感器，则气体应先通过一个0.45μm的过滤器，且应无油无水。建议采购：PLD-0201 0203等型号。
（2）玻璃量器
符合一定标准的一套带刻度的移液管和量筒。这些玻璃仪器应根据ISO3722进行清洗和检验。
（3）样液搅拌装置
用来重新分散样液中污染物的装置。该装置的使用不应改变污染物的基本尺寸分布。
（4）超声浴池
超声浴池既可以分散开液体中的颗粒结块，又可以除去手工摇动带来的气泡。但经验表明，样液在超声浴池中停留时间不应超过30s，否则瓶壁上的颗粒会脱落到样液中，这对清洁度高的样液有一定影响。通常使用的超声浴池为4000W/m2。建议采购：PS-3200 超声波振荡器 商标：PULL。
（5）取样瓶
取样瓶通常为柱状玻璃容器或聚丙烯瓶，瓶壁应光滑，且为平底广口以利清洗。可以使用不泄漏的螺纹帽作瓶盖，也可以使用带内部密封的瓶盖。瓶的尺寸视计数器操作方便而定，通常为250mL。取样瓶也应根据ISO3722进行清洗和检验。建议采购：PS-8011 清洁瓶 商标：PULL。
（6）电子天平
一台已校准好的电子天平，读数精度为0.01mg。
（7）光学显微镜
当样液中含有水或其它二相液体时，不要利用颗粒检测设备来分析样液，这时，需利用光学显微镜，根据国际标准ISO4407来测定样液。
（8）真空抽滤装置
该装置用于过滤各种清洗溶剂。过滤一般通过0.45μm的过滤器，该过滤器应与所过滤的各种溶剂相容。建议采购：PSD-350 清洁过滤装置 商标：PULL。
3、材料
（1）溶剂
清洗传感器、取样瓶及玻璃仪器所用溶剂，包括蒸馏水/去离子水、洗涤剂、石油醚或乙醇，其中石油醚和乙醇应由0.45μm的滤膜过滤，并用真空过滤装置。
（2）稀释液
稀释样品所用液体。可用0.8μm滤膜过滤，也可用滤筒形式的过滤器（过滤效率β1≥75）过滤，稀释液应与样液及使用装置相容，一般采用ISOVG5基矿物油或10号航空液压油。
4、注意事项
（1）仪器应放置在干净的环境中，以防在分析过程中，空气中的灰尘进入样液。合格的环境要求：
≥0.3μm颗粒≤100000个/m3
≥0.5μm颗粒≤35000个/m3
≥5μm颗粒≤200个/m3
≥10μm颗粒≤1个/m3
(2)由于液体自动颗粒计数器是一个灵敏度较高的精密仪器,所以应避免使它受到射频干扰或电磁干扰。此外，应使用稳压器以供给其稳定的电压。
（3）在操作计数器过程中可能用到一些有害、有毒或易燃的化学药品，所以必须有目的、有准备地测定颗粒，并保证化学药品与所用仪器的兼容性。
（4）在测定样液前，应先将仪器接通电源一段时间以使其稳定后再进行工作。测样时，样液的浓度不要超过厂家规定传感器浓度极限的50%，最低阈值为仪器噪声电平的1.5倍。
（5）当样液中含有铁磁性颗粒时，不宜使用磁力搅拌棒。
（6）颗粒检测设备应每6个月标定一次。对刚购买或刚维修后的计数器和传感器都应该进行标定。标定方法可根据现有的ISO4402利用ACFTD粉尘或根据修改后的ISO11171利用ISOMTD粉尘进行标定。建议：PS-4402或PS-11171 标准粒子比对液 容积：250ml。
5、样液分析系统的操作规范
（1）系统清洗：
在利用传感器和颗粒检测设备对油液进行分析时，必须保证所用传感器以及相连管路的清洁度，也即样液分析系统必须先用事先过滤好的溶剂来清洗。清洗流量可采用比工作流量高50%的流量。可以通过分析一定量的清洁溶剂或稀释液来检验系统的清洁度。合理的系统清洁度要求：粒径≥2μm的颗粒数≤10个/mL，粒径≥5μm的颗粒数≤2个/mL。
（2）样液准备：
先用不起毛的绸布擦去取样瓶外的可见污染物，然后视觉检查样液。如果样液中含有水或其它二相液体时，不要利用颗粒检测设备来分析样液，因为这会影响颗粒检测设备的正常工作，这时应根据ISO4407利用光学显徽镜进行计数；如果样液光密度较大（指透不过光的深黑色样液），或者粘度、颗粒污染度较大时，也不要直接在颗粒检测设备上进行计数，而应先进行稀释；当样液不具有上述情况时，便可以直接利用颗粒检测设备进行分析，但要求样液的颗粒浓度必须低于厂家所推荐的传感器浓度极限值的50％，如果不能确定这一点，可以先取出一部分样液，然后按一个比较高的稀释比，例如20:1将其稀释。通过分析该稀释液就可以确定样液能否直接分析以及最佳稀释比是多少。
（3）污染物的再分散：若样液已放置了一段时间，则会产生颗粒沉降、结块，这时就需要在分析样液前使污染物能够均匀地分散在样液中。具体方法为：
①先用手充分摇动样液至少1min,也可以利用样液搅动装置或超声浴池来使污染物再分散。如果使用的是超声浴池，那么应将取样瓶垂直放置在浴池中，浴池中的水应恰低于取样瓶中的液体刻线，浴振时间不应超过30s；
②将样液瓶放入密封的玻璃罩内，在至少53.5kPa的真空下，将瓶盖除去来脱气，直到全部气泡释出为止；也可以将取样瓶用盖子盖好后放置在超声浴池内脱气，直至外观看不见气泡为止。
（4）样液分析
①样液脱气后应立即进行分析。在分析前，应先用少量被测样液冲洗传感器至少两次。
②应在仪器厂商所规定的传感器标定流量下分析样液。
③每种样液应至少计数3次，最小尺寸的颗粒计数误差应小于10％，否则应分析误差产生的原因，采取相应措施后重新计数。

B. 室内空气检测仪哪个品牌好呢麻烦给推荐下

PM2.5又叫细颗粒物，有时也称细粒或细兆雀颗粒，是指大气中直径小于或等于2微米的颗粒物，这些微小的颗粒物虽然肉眼看不到，却含有大量有毒、有害的物质，因为体积小、重量轻，可以长时间停留在大气中，危害人的健康。颗粒物的大小决定了它们最终在呼吸道中的位置。较大的颗粒物往往会被纤毛和黏液过滤，无法通过鼻子和咽喉。小于2.5微米的颗粒物，由于体积小，可能抵达细支气管壁，并干扰肺内的气野亏体交换。家用空气检测仪器的价格不贵，但是检测结果也是大概值，不会作为任何法律依据或者检测数据。所以颂猜神可以根据自己家里的情况选择购买。

介绍一款主要是偏工业、室外用的PM2.5检测仪器：CW-HAT200&CW-HAT200S高精度手持式PM2.5检测仪是深圳赛纳威专用于测量空气中PM2.5(可入肺颗粒物)及PM10(可吸入颗粒物)数值的专用检测仪器。 在应用高灵敏度微型激光传感器技术基础上，自主开发出的集空气动力学、数字信号处理、光机电一体化的高科技产品；该仪器具有测试精度高、性能稳定、多功能性强、操作简单方便的特点，可广泛适用于公共场所环境及大气环境的测定 ,还可用于空气净化器净化效率的评价分析。

C. 小米PM2.5检测仪可以检测甲醛吗

不可以，PM2.5是检测粒径在2.5μm左右的空气中的灰尘等可吸入颗粒物的含量。

测甲醛需要用专门的甲醛检测仪，记得购买的时候让卖家提供甲醛检测仪的出厂合格证书和计量合格证书。

1、pm2.5检测仪：检测大气中粒径小于2.5μm细颗粒物质量的检测仪。虽然细颗滑和粒物只是地球大气成分中含量很少的组分，但它对瞎腔空气质量和能见度等有重要的影响。细颗粒物粒径小，有些细颗粒物富含大量的有毒、有害物质且在大气中的停留时间长、输送距离远，因而对人体健康和大气环境质量的影响更大。

2、甲醛检测仪：是一种检测甲醛的仪器。实现了现场对室内空气中甲醛快速实现半定量、特点结构简洁、体积小、便于携带使用和直观的。可广泛适合于居磨让衫室、室内、居住区、公共场所、生活场所和厂矿车间空气中甲醛的现场定量定性检测。

(3)室内颗粒物检测装置扩展阅读：

甲醛检测仪使用注意事项有以下四点：

1、检测用水必须是蒸馏水去离子水或者纯净水。、

2、气泡吸收瓶且勿接入进气孔，否则会产生倒吸，损坏仪器，损失吸收液。

3、所有玻璃器具在第一次使用前，需用化学试验室中的酸洗液、自来水、蒸馏水清洗干净。

4、每次检测结束后应及时气泡吸收瓶中有色溶液，再用酸洗液、自来水、蒸馏水清洗干净。

参考资料来源：

网络-甲醛检测仪

网络-pm2.5检测仪

D. 遥感在线粉尘浓度监测装置是什么

通过微电脑激光控制来实现空气中粉尘等颗粒物的监测的仪器。仪器的连续性使得其适用于监测颗粒、龙卷风粗并、除尘器或任何防尘设备的排放。通过微电脑激光控制来实现空气中粉尘等颗粒物的监岩州迹测，最适合用于监测地下运输系统、通风系统、室内工作场所，或任何其它监测烟气迹胡、粉尘、烟雾等空气质量，或需要即时数据的场所。

E. a3型室内空气质量检测仪怎么用的

GY2014C空气质量监测系统
GY2014C空气质量监测系统是基于定电位电解传感器原理及国外光声光谱PAS技术检测污染气体、光散射原理或β射线法检测粉尘，并结合国外的PAS技术和网络通讯技术研制、开发出来的最新科技产品。该慎春棚系统符合国家对城市环境空气自动监测系统的各项技术指标要求，国产化程度高，具有较强的实用性和理想的性能价格比，可替代同类进口产品，是开展城市环境空气自动监测的理想仪器。
大气污染物质量在线监测、现场测试。
环境空气自动监测系统是基于定电位电解传感器原理及国外光声光谱PAS技术检测污染气体、光散射原理或β射线法检测粉尘，并结合国森孙外的PAS技术和网络通讯技术研制、开发出来的最新科技产品。该系统符合国家对城市环境空气自动监测系统的各项技术指标要求，国产化程度高，具有较强的实用性和理想的性能价格比，可替代同类进口产品，是开展城市环境空气自动监测的理想仪器。
系统组成
1.主机参数: 温度、湿度、PM2.5、CO2、噪声、风速风量等其它有毒气体和外接扩展数码图片接口)
2.温湿度百叶箱及粉尘百叶箱
3.采样气体装置
4.说明书等资料；
5.备用电池及移动电源，用于无人值守的监测。
6.上位机软件（选配）：便携式监测仪的历史数据可以通过USB导出转存至电脑，上位机软件完成统计报表、数据分析、制作曲线、打印等功能。
产品性能特点：
●结构设计合理，亦可作为便携式仪器使用，也可自动在线连续监测；
●增加传感器可以同时监测气体参数和可吸入颗粒物，并在屏幕上显示出检测值；
●采用进口高灵敏度的传感器，响应速度快，分辨率高，线性好，检测下限可达ppb级；
●测量浓度值可以实现mg/m3、ppm、ppb、μg/m3单位的切换，同时有动态图象显示；
●采用大屏幕图形液晶显示，可直观动态显示各种检测数据、图形、仪器工作状态，提供全中文菜单和友好的人机对话界面；
●应用单片机技术和网络通讯技术相结合，采用数据存储功能，不仅可提供方便的数据查询方式；还可以通过USB接口将数据转存至计算机，利用配套的上位机软件自动计算日平均值、月平均值、污染指数、生成各种图形数据标，并进行打印；
●采用机内宽则锂电池供电或外接交流市电供电方式，如果外电源断电后，设备内的电池可供仪器可连续工作8小时；

F. 要检测塑料颗粒，用什么样的料位开关比较好

您好，这是一个关于料位开关的哪态中问题。料位开关是一种用于检测固体或液体物料是否达到预设高度的装置。检测塑料颗粒的料位开关有以下几种类型：
- 电容式料位开关：电容式料位开关通过电极形成一个电容器，当塑料颗粒覆盖电极时，电容值会发生变化，从而触发料位开关。¹
- 振动式料位开关：振动式料位开关通过振动棒产生振动，当塑料颗粒覆盖振动棒时，振动的幅度会减小，此时开关可以检测到料位的变化。¹²³
- 射频导纳式料位开关：射频导纳式料位开关通过高频信号在两个电极之间形成一个回路，当塑料颗粒接触两个电极时，闭岁回路的阻抗会发生变化，从而触发料位开关。⁴
不同类型的料位开关有各自的优缺点，具体选择哪一种要根据您的实际需求和条件来决定。例如：
- 电容式和射频导纳式的优点是不受外部振动和流动噪音影响，但缺点是易受静电干扰和介质特性变化影响。
- 振动式的优点是抗粘附、免维护、无机械活动件、无磨损、使用寿命长，但缺点是受外部振动和流动噪音影响。
希望我的李山回答对您有所帮助。

G. 阀门颗粒物测试方法

颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；

采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；

所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。

优选的，所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的气体；

所述采样管道的第一端用于与所述备用排气口连通。

优选的吵返，还包括排气管道；

所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的空气；

所述排气管道的一端用于与所述标准排气口连通、另一端用于连通真空泵；

所述排气管道上具有一采样口，所述采样管道的第一端用于与所述采样口连通。

优选的，还包括阀门；所述阀门，设置于所述采样管道中，用于控制所述半导体处理腔室与所述颗粒物分析仪是否导通。

优选的，还包括上位机；所述颗粒物分析仪，包括分析腔和控制器；

所述分析腔，用于对所述采样管道传输的气体中的颗粒物进行分析；

所述控制器，连接所述分析腔，用于将所述分析腔分析得到颗粒物信息传输至所述上位机。

优选的，所述颗粒物信息包括颗粒物粒径和颗粒物浓度。

为了解决上述问题，本发明还提供了一种颗粒物检测方法，包括如下步骤：

提供一采样管道，所述采样管道包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端与颗粒物分析仪连通；所述颗粒物分析仪用于分析气体中的颗粒物信息基迅；

获取采样气体，所述采样气体是自所述半导体处理腔室经所述采样管道传输至所述颗粒物分析仪的；

分析所述采样气体中的颗粒物信息。

优选的，所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的气体；所述第一端与半导体处理腔室的排气口连通的具体步骤包括：

连通所述第一端与所述备用排气口。

优选的，所述颗粒物分析仪包括用于分析采样气体的分析腔；获取采样气体之前还包括如下步骤：

排除所述分析腔内的气体。

优选的，获取采样气体之搏碰此前还包括如下步骤：

提供一阀门，所述阀门安装于所述采样管道中；

判断是否接收到开启所述阀门的指令，若是，则控制所述阀门开启，导通所述半导体处理腔室与所述颗粒物分析仪。

优选的，还包括如下步骤：

设置采样间隔，根据所述采样间隔发出开启所述阀门的指令。

优选的，分析所述采样气体中的颗粒物信息之后还包括如下步骤：

传输所述颗粒物信息至上位机。

优选的，所述颗粒物信息包括颗粒物粒径和颗粒物浓度。

本发明提供的颗粒物检测装置及颗粒物检测方法，通过采样管道连通半导体处理腔室与颗粒物分析仪，使得在对半导体处理腔室内的颗粒物情况进行检测的过程中，不需要对半导体设备进行停机，实现了对半导体处理腔室内部颗粒物情况的实时检测，提高了颗粒物检测的效率和准确度，确保了半导体制程持续、稳定的进行。

附图说明

附图1是本发明具体实施方式中颗粒物检测装置的结构示意图；

附图2是本发明具体实施方式中颗粒物检测装置的结构框图；

附图3是本发明具体实施方式中颗粒物检测方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明提供的颗粒物检测装置及颗粒物检测方法的具体实施方式做详细说明。

在半导体制造过程中，半导体设备内部颗粒物情况，是确保半导体制程正常进行的重要条件。因此，需要对半导体设备内部的颗粒物信息进行检测。由于大部分半导体设备在进行半导体处理工序时，需要处于密闭的真空或低压状态，此时，不能开启半导体处理腔室的腔室门来进行颗粒物情况监测。目前，检测半导体设备内部颗粒物信息的方法需要在半导体设备停机的状态下进行，因此，无法对半导体制程过程中半导体设备内部的颗粒物情况进行实时监测。然而，即便在停机状态下，颗粒物分析仪也无法直接采集半导体设备内部的气体，而是要通过利用cw(continuouswave，连续波)对从所述半导体设备内取出的晶圆表面的情况进行分析，结合颗粒物分析仪来间接获取半导体设备内部的颗粒物情况。这种方式，存在以下四个方面的缺陷：第一，需要额外增加半导体设备的停机时间，影响半导体制程的持续进行，降低了半导体的生产效率；第二，cw成本较高，导致半导体制造成本的增加；第三，不能对半导体设备运行过程中，其内部环境的颗粒物情况进行实时检测，导致检测结果的可靠性降低；第四，通过间接的方式获得颗粒物情况的方法，可靠性较低，不能准确的反映半导体设备内部的颗粒物情况。

为了解决上述问题，本具体实施方式提供了一种颗粒物检测装置，附图1是本发明具体实施方式中颗粒物检测装置的结构示意图，附图2是本发明具体实施方式中颗粒物检测装置的结构框图。如图1、2所示，本具体实施方式提供的颗粒物检测装置，包括颗粒物分析仪11和采样管道13。

所述颗粒物分析仪11，用于分析气体中的颗粒物信息；所述采样管道13，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室10的排气口111连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪11连通；所述采样管道13用于将所述半导体处理腔室10中的气体传输至所述颗粒物分析仪11。优选的，所述颗粒物信息包括颗粒物粒径和颗粒物浓度。本具体实施方式中所述的颗粒物优选是粒径大于或等于0.06微米的颗粒物。采用上述结构，无需在所述半导体处理腔室10上设置额外的开口，而是利用所述半导体处理腔室10已有的排气口111作为气体采样口。所述采样管道13与所述排气口111连通后，即可实时采集所述半导体处理腔室10内部的气体，从而实现对所述半导体处理腔室10内部颗粒物情况的实时检测。

其中，所述半导体处理腔室10，是指对半导体器件进行工艺处理的腔室。本具体实施方式中的半导体处理腔室可以是干法刻蚀腔室、湿法刻蚀腔室、化学气相沉积腔室、物理气相沉积腔室等。

具体来说，当需要对所述半导体处理腔室10中的颗粒物情况进行检测分析时，可以通过所述采样管道13将所述半导体处理腔室10中的气体直接采样后传输至所述颗粒物分析仪11进行分析。整个过程不需要对半导体处理装置进行停机处理，也无需价格高昂的cw设备，实现了对半导体处理腔室内部环境的颗粒物情况的实时检测，确保了半导体制程持续、稳定的进行。

为了降低所述颗粒物检测装置的成本，且不影响半导体处理腔室内处理工艺的正常进行，优选的，所述半导体处理腔室10的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的空气；所述采样管道13的第一端用于与所述备用排气口连通。

具体来说，为了确保半导体处理腔室10内部半导体处理工序的正常进行，经常需要使得所述半导体处理腔室10内部保持真空或低压环境。所述标准排气口就用于排除所述半导体处理腔室10内的空气，使得所述半导体处理腔室内的气压达到预设值。而所述备用排气口，在所述标准排气口能够正常排气时，用于检测所述半导体处理腔室10内部是否出现气体泄漏；而在所述标准排气口不能够正常排气时，还用于辅助所述标准排气口排除所述半导体处理腔室10内部的空气，且备用排气口的数量通常为多个。因此，为了不影响所述半导体处理腔室10的正常排气，所述采样管道13的第一端优选与所述备用排气口连通。

为了不影响所述半导体处理腔室的正常排气，优选的，所述颗粒物检测装置还包括排气管道14；所述半导体处理腔室10的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的空气；所述排气管道14的一端用于与所述标准排气口连通、另一端用于连通真空泵12；所述排气管道14上具有一采样口141，所述采样管道13的第一端用于与所述采样口141连通。其中，所述真空泵12用于抽出所述半导体处理腔室10中的空气，使得所述半导体处理腔室10中的工艺在真空条件下进行。通过将所述采样管道13的第一端与所述排气管道14上的所述采样口141连通，借助所述真空泵12的作用，可以更加快速的将所述半导体处理腔室10中的气体传输至所述颗粒物分析仪11。

为了进一步提高所述半导体腔室内部颗粒物情况监测的灵活性，优选的，所述颗粒物检测装置还包括阀门15；所述阀门15，设置于所述采样管道13中，用于控制所述半导体处理腔室10与所述颗粒物分析仪11是否导通。其中，所述阀门15可以是手动阀门，也可以是自动阀门，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置。所述阀门15的设置，使得工作人员可以根据需要对所述半导体处理腔室10内部气体环境取样，减少所述颗粒物检测装置的整体功耗。

在具体的检测过程中，工作人员可以根据需要保持所述阀门15常开状态，以便于实时检测所述半导体处理腔室10内部的颗粒物情况；也可以根据需要定期关闭所述阀门15，实现周期性的检测所述半导体处理腔室10内部的颗粒物情况。

为了使得工作人员能够直观、准确的了解所述半导体处理腔室10内部的颗粒物情况，优选的，所述颗粒物检测装置还包括上位机23；所述颗粒物分析仪11，包括分析腔21和控制器22；所述分析腔21，用于对所述采样管道13传输的气体中的颗粒物进行分析；所述控制器22，连接所述分析腔21，用于将所述分析腔21分析得到颗粒物信息传输至所述上位机23。其中，所述控制器22将所述颗粒物信息传输至所述上位机23的具体方式，可以是有线传输，也可以是无线传输。

具体来说，所述分析腔21包括真空泵、粒径传感器和浓度传感器。所述真空泵用于抽取所述半导体处理腔室10中的气体；所述粒径传感器，用于检测气体中颗粒物的粒径，例如激光粒度传感器；所述浓度传感器用于检测所述气体中颗粒物的浓度。所述上位机23可以将接收到的颗粒物信息以文字或图表的形式于所述上位机23的显示屏显示，以便工作人员能够一目了然的知晓所述半导体处理腔室10内部的环境状况。所述上位机23还可以向所述颗粒物分析仪11中的所述控制器22传输控制指令。所述控制器22根据接收到的控制指令，控制所述分析腔21中的真空泵对所述半导体处理腔室进行气体采样。

为了解决上述问题，本具体实施方式还提供了一种颗粒物检测方法，附图3是本发明具体实施方式中颗粒物检测方法的流程图。如图3所示，本具体实施方式提供的颗粒物检测方法，包括如下步骤：

步骤s31，提供一采样管道13，所述采样管道13包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端与半导体处理腔室10的排气口连通，所述第二端与颗粒物分析仪11连通；所述颗粒物分析仪11用于分析气体中的颗粒物信息。所述采样管道13、所述半导体处理腔室10与所述颗粒物分析仪11之间的连接关系参见图1、2。

步骤s32，获取采样气体，所述采样气体是自所述半导体处理腔室10经所述采样管道13传输至所述颗粒物分析仪11的。

步骤s33，分析所述采样气体中的颗粒物信息。

为了降低所述颗粒物检测装置的成本，且不影响半导体处理腔室内处理工艺的正常进行，所述半导体处理腔室10的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室10中的气体；所述第一端与半导体处理腔室10的排气口连通的具体步骤包括：

连通所述第一端与所述备用排气口。

为了避免所述颗粒物分析仪11内部残留的气体成分对所述半导体处理腔室内部颗粒物情况分析的影响，优选的，所述颗粒物分析仪11包括用于分析采样气体的分析腔21；获取采样气体之前还包括如下步骤：

排除所述分析腔21内的气体。

为了进一步提高所述半导体腔室内部颗粒物情况监测的灵活性，优选的，获取采样气体之前还包括如下步骤：

(a)提供一阀门15，所述阀门15安装于所述采样管道13中；

(b)判断是否接收到开启所述阀门15的指令，若是，则控制所述阀门15开启，导通所述半导体处理腔室10与所述颗粒物分析仪11。

更优选的，所述颗粒物检测方法还包括如下步骤：

设置采样间隔，根据所述采样间隔发出开启所述阀门15的指令。

其中，采样间隔的具体数值，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置，例如根据所述半导体处理腔室10内部所进行的半导体工艺类型，本具体实施方式对此不作限定。这样，工作人员可以根据多次间隔性采样分析的结果，得到半导体工艺进行过程中，所述半导体处理腔室10内部的颗粒物变化情况，对于改善半导体工艺制程，提高半导体成品性能，提供参考作用。

为了使得工作人员能够直观、准确的了解所述半导体处理腔室10内部的颗粒物情况，优选的，分析所述采样气体中的颗粒物信息之后还包括如下步骤：

传输所述颗粒物信息至上位机。

本具体实施方式提供的颗粒物检测装置及颗粒物检测方法，通过采样管道连通半导体处理腔室与颗粒物分析仪，使得在对半导体处理腔室内的颗粒物情况进行检测的过程中，不需要对半导体设备进行停机，实现了对半导体处理腔室内部颗粒物情况的实时检测，提高了颗粒物检测的效率和准确度，确保了半导体制程持续、稳定的

H. 悬浮颗粒物的检测

目前国内最常用的颗粒物检测仪是激光粉尘仪。 激光粉尘仪该仪器适用于公共场所可吸入颗粒物（PM10）浓度的快速测定、工矿企业生产现场等劳动卫生方面粉尘浓度的检测，以及环境保护领域可吸入尘浓度的监测，还可用于空气净化器净化效率的评价。有千台悄租以上仪器在全国各地使用，得到用户好评。
仪器符合卫生部WS/T206-2001《公共场所空气中可吸入颗粒物（PM10）测定法-光散射法》标准、劳动部LD98-1996《空气中粉尘浓度的光散射式测定法》标准以及铁道部TB/T2323-92《铁路作业场所空气仪器中粉尘测定相对质量浓度与质量浓度的转换方法》等行业标准以及卫生部卫监督发〔2006〕58号文件颁布实施的《公共场所集中空调通风系统卫生规范》。
主要特点：
 可直读颗粒物质量浓度（mg/m3），1分钟出结果，或根据用户需要任意设定采样时间；
 测量快速、准确、检测灵敏度高；
 设计了自校系统,仪器性能稳定可靠；
 具有气幕屏蔽及洁净气自清洗功能，确保光学系统不受污染；
 实现了软件自动调零；
 具有与计算机双向通讯功能，可通过PC机进行数据处理，打印出曲线及表格；
 具有颗粒物浓度连续监测、定时采样以及粉尘浓度超标报警等多种功能；
主要技术指标
检测灵敏度：低灵敏度 0.01mg/m3 ；
高灵敏度 0.001 mg/m3 ；
测定范围： 低灵敏度 0.01～100 mg/m3 ；
高灵敏度 0.001～10 mg/m3 ；
测定时间：采样标准时间为1分钟，设有0.1、1、2、5、10分钟及调时档（任意设定采样时 间）；
重复性误差：±2%；
测量精度： ±10%
显 示 屏：带标识4位液晶显示器；
存 贮：可循环存储99组数据；
定时采样：可设定测量时间1～9999秒及采样次数1～9999次
输出接口：PC机通讯接口（RS232）及打印机输出接口
环境温度：0℃～40℃（储存温度－20℃～60℃）
电 源：交直流两用，配充电电池及充电器
尺 寸：192×69×140 mm
重 量：1.4Kg 新型激光粉尘仪具有新世纪国际先进水平的新型内置滤膜在线采样器的微电脑激光粉尘仪, 在连续监测粉尘浓度的同时, 可收集到颗粒物,以便对其成份进行分析，并求出宏族质量浓度转换系数K值。可直读粉尘质量浓度（mg/m）, 具有PM10、PM5、PM2.5及TSP切割器供选择. 仪器采用了强力抽气泵，使其更适合需配备较长采样管的中央空调排气口PM10可吸入颗粒物浓度的检测。
仪器符合工业企业卫生标准（启绝兆GBZ1-2002）、工作场所有害因素接触限值（GBZ2-2002）标准、卫生部WS/T206-2001《公共场所空气中可吸入颗粒物（PM10）测定法-光散射法》标准、劳动部LD98-1996《空气中粉尘浓度的光散射式测定法》标准以及铁道部TB/T2323-92《铁路作业场所空气中粉尘测定相对质量浓度与质量浓度的转换方法》等行业标准以及卫生部卫法监发 [2003] 225号文件发布的《公共场所集中空调通风系统卫生规范》。
主要技术指标
1、 配置40mm滤膜在线采样器;
2、 具有可更换粒子切割器PM10、PM5、PM2.5及TSP供选择;
3、 直读粉尘质量浓度（mg/m3）,1分钟出结果;
4、 大屏幕液晶显示器,汉字菜单提示;
5、 检测灵敏度：（L） 0.01mg/m3； （H） 0.001mg/m3。
6、 重复性误差：±2%
7、 测量精度： ±10%
8、测量范围： （L） 0.01～100 mg/m； （H） 0.001～10 mg/m。
9、 测定时间：标准时间为1分钟，设有0.1分及手动档（可任意设定采样时间）。
10、 具有公共场所监测模式、大气环境监测模式以及劳动卫生模式。可计算出时间加权平均值（TWA）和短时间接触允许浓度（STEL） 等。
11、 存 贮：可循环存储99组数据。
12、定时采样：可设定测量时间（1～9999）秒，关机时间（0～9999）秒，预热时间（0～10）秒及采样次数（1～9999）次。
13、 粉尘浓度超标报警阈值设定：浓度最大阈值: 65mg/m3；测定时间：（1～9999）秒
14、输出接口：（1）PC机通讯串行接口：RS232；（2）微型打印机输出接口；（3）模拟量输出接口：0—1V；(4) 数字量输出接口：电平信号。
15、 电源：Ni-MH充电电池组（1.2V x 4），可连续使用8小时；附220VAC/12VDC 电源适配器。
16、另配具有湿度修正功能，数据更加精确
17、 重量：2.4kg。

I. 室内空气质量检测仪哪个牌子好

伴随着经济的快速发展，在生活水平提高的情况下也给我们的生活带来了一些压力，就比方说环境问题，现在不管是室内还是室外空气质量非常地大，一到冬天天天早上吸雾霾，这样的状况已经影响到了我们室内的空气质量。为了知道室内空气的质量情况，人们就研制出了室内空气质亮困团量检测仪，这种设备可以随时告诉你室内的空气情况，接下来小编就为大家详细介绍几个室内空气质量检测仪品牌吧!

室内空气质量检测仪哪个牌子好?

1.汉王霾表

汉王科技旗下,空气智能监测引领者,专注于空气质量检测与净化,拥有多项空气检测和净化专利技术,北京汉王蓝天科技有限公司

2.TSI

创自美国,全球领先的空气检测仪器服务商美,精密仪器设计和生产的行业领导者,提赛环科仪器贸易(北京)有限公司

3.华盛昌CEM

始于1991年,集专业开发/设计/生产各类测量仪表于一体的高新技术企业,知名品牌,深圳华盛昌机械实业有限公司

4.空气电台AIRRADIO

国内较早从事气体传感器研究生产的企业汉威电敬橘子旗下,专注于空气健康生态链建设的创新型科技企业,北京威果智能科技有限公司

5.Dylos

专业致力于空气粒子测试仪尺拿器研发制造的企业,享有较高声誉的空气质量检测仪品牌,消费级空气检测仪领域颇具影响力品牌,美国Dylos公司。

6.空气果

墨迹天气推出的能提供温度/湿度/二氧化碳/PM2.5等数据检测的硬件产品,知名室内空气检测设备品牌,北京墨迹风云科技股份有限公司

7.空气堡AIRBURG

专注空气质量及改善/室内空气解决方案的企业,较具网络知名度的空气检测器品牌,管家式空气服务提供商,北京爱空气科技有限公司

8.远大空

远大集团旗下,全球空气品质技术领袖,国内领先的洁净新风机/手机式空气检测仪生产商,远大空品科技有限公司

9.海尔空气盒子

海尔智慧空气生态圈重要硬件基础,较早可进行空气检测和控制的智能终端,首个获得国家气象部门认证的空气产品

10.甲保御

专业从事辐射与环保仪器的研发/生产/销售及服务,国内较早的家用pm2.5检测仪品牌,贝谷科技股份有限公司

以上小编给大家推荐的这十大室内空气质量检测仪品牌在整个市场上也是最好的，如果大家确实需要这种检测空气的设备的话就可以从以上的这些品牌当中去挑选。当然了，这些品牌之间也是有不少的差异的，大家在购买的时候可以根据自身的实际需求去购买，并且要掌握一些必要的选购技巧，争取买到性价比最高的室内空气质量检测仪产品。