A. 半導體零部件之閥門行業研究：國產替代方興未艾
（報告出品方/作者：興業證券，李雙亮、王佩麟）
1、真空閥：真空系統核心零部件，瑞士 VAT 主導市場
1.1、真空閥：真空系統核心零部件，主要起隔離/控制/傳輸作用
真空閥指的是用在真空系統中的閥門，其作用通常為隔離真空區域（如工藝腔室） 或控制氣體進出量。真空閥在半導體設備中普遍應用，貫穿半導體製造過程始終。
從類型劃分，真空閥包括隔離閥、控制閥（調節閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等。在半導體設備的真空系統中，隔離閥、控制閥、傳輸閥 應用較多。
具體而言，隔離閥用於隔絕/接通作用，如連接真空泵，控制氣體進入真空泵系統； 控制閥主要控制氣體流量和壓力；傳輸閥用於晶圓在腔體之間的傳輸。
隔離閥常見類型有角閥和閘閥。閘閥通過閘板的升降實現隔絕/接通，通常用於腔體 和真空泵之間；角閥用於排氣管路和抽氣系統連接，適用於真空系統中的排氣管路 和抽氣系統。
控制閥主要用於真空腔體和分子泵之間，包括擺閥（鍾擺閥）、蝶閥等。擺閥通過旋轉運動控制隔離和流量調節，蝶閥的閥瓣圍繞軸線旋轉，實現快速精確的調節。
傳輸閥是長方形截面的閥門，用於連接真空腔室，實現晶圓在不同腔室之間的傳輸。
1.2、真空閥要求嚴苛，瑞士 VAT 主導市場
真空閥要求在密封性、流量控制、顆粒產生、振動、穩定性等方面表現優異，尤其是 在半導體製造這種對工藝環境有極高要求的領域。瑞士 VAT 公司在全球半導體真空閥市場中占據約 75%的份額，2022 年實現收入 11.45 億瑞士法郎，其中閥門產品收入 9.33 億瑞士法郎。
全球半導體真空閥市場規模約 10 億美元，而泛半導體真空閥市場規模則達 12.7 億 美元。市場格局集中，除了瑞士 VAT 之外，MKS、VTEX、CKD、SMC、Ulvac 等 廠商也占據一定市場份額。
1.3、國際龍頭梳理
1.3.1、瑞士 VAT 公司
瑞士 VAT 公司作為全球真空閥龍頭，2022 年實現收入 11.45 億瑞士法郎，閥門產 品收入 9.33 億瑞士法郎，服務收入 2.13 億瑞士法郎。其中，半導體為最大下游應 用，收入為 7.17 億瑞士法郎。
VAT 公司提供全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關閉閥等產品，為各領域提供 最佳解決方案。其真空閘閥、角閥、蝶閥、擺閥等產品在行業標准中占據領先地位。
2、流體系統閥門：流體系統核心元件，美廠占據重要地位
2.1、半導體工藝設備供氣和氣路系統中廣泛應用的關鍵元件
除在真空系統中應用廣泛外，閥門也是半導體行業高純流體系統的核心元件，主要 用於開關截止、流量調節和流向改變。在半導體製造工藝設備內部的氣體管路系統 和供氣系統中，需要大量高純閥門參與控制。
供氣系統將電子氣體從氣源送往工藝設備端，其中包括氣櫃（Gas Cabinets）、多 功能閥箱/閥盤（Valve Manifold Boxes/Panels）、二次配閥盤（Hookup）等環節，均 需使用閥門。
2.2、流體系統閥門要求更顯嚴苛，美國廠商占據重要地位
流體系統對閥門有著極高要求，包括潔凈度、材質純度、抗腐蝕能力、快速吹掃無 泄露、流體控制精度等。例如，半導體工藝設備需要使用腐蝕性強的氣體，管路和 閥門容易腐蝕，因此對材料和表面電化學處理有嚴格要求。
Gas Box 作為氣路系統的核心部件，內部包含各種介質控制氣路，需要可靠穩定的流體系統元件，高純閥門需滿足體積緊湊、滿足 SEMI 標準的泄漏率和潔凈度要求。 隨著晶體管微縮和新材料引入，對閥門的性能提出了更高要求。
2.3、全球龍頭廠商梳理
2.3.1、Swagelok
美國 Swagelok 公司提供流體系統產品、組裝和服務，為油氣、化工、半導體、清 潔能源等各個行業提供隔膜閥、波紋管閥、單向閥、調壓閥、ALD 閥等產品。
針對半導體行業，Swagelok 產品覆蓋閥門、調壓閥、接頭、軟管、過濾器、焊接系 統等，尤其在超高純閥門領域，Swagelok 提供多種型號，為半導體流體系統提供全面高質量解決方案。
2.3.2、Fujikin
日本 Fujikin 公司提供閥門、接頭、流體系統等產品，涵蓋半導體、太空開發、氫 能利用、制葯和食品、鋰電池等多個領域。Fujikin 在半導體領域提供隔膜閥、單 向閥、波紋管閥等各種閥門。
3、國產替代緊迫性凸顯，優質廠商有望突破放量
3.1、國產設備廠商成長空間巨大，零部件國產替代正當時
國內存儲廠商和邏輯製程廠商在擴產，但受美國制裁影響，擴產速度受到限制。 隨著本土晶圓廠快速擴產和外資晶圓廠在大陸投資放緩，設備市場規模主要由國 內晶圓廠采購形成。自主可控趨勢下，設備整體國產化率有望顯著提升，國產化 空間巨大。
3.2、半導體閥門國產替代方興未艾，尤其流體閥門國產化空間極大
美國制裁加劇設備進口限制，零部件自主可控需求增強。國內晶圓廠產線中半導體閥門仍依賴海外廠商。其中，真空閥市場主要由瑞士 VAT 主導，流體閥市場主要由美國 Swagelok、美國 Parker Hannifin、日本 Fujikin 等廠商主導。流體閥門要求嚴苛，國產替代緊迫性尤為明顯。國內已 有廠商如新萊應材、晶盛機電、九天真空等在真空閥領域具備國產替代基礎，未來成長空間巨大。
3.3、優質國產廠商梳理
3.3.1、新萊應材
新萊應材是半導體真空和氣體系統國產化率較低、競爭格局較好的行業領先廠商， 產品包括真空法蘭、管件、閥、腔體等，以及超高純管道、隔膜閥、卸荷閥等氣 體產品。公司與海內外設備龍頭以及知名 fab 廠有良好合作關系，預計將是細分 領域國產替代的排頭兵。
3.3.2、晶盛機電
晶盛機電提供光伏和半導體設備，延伸至藍寶石材料、碳化硅材料及關鍵零部件， 包括金剛線、石英坩堝、精密零部件等。在閥門產品方面，公司與日本 Primet 合 作，實現隔膜閥量產，用於半導體和光伏設備。
3.3.3、九天真空
九天真空提供真空閥、薄膜規等產品，廣泛應用於戰略支柱行業。公司擁有齊全的 真空產品線，包括插板閥、翻板閥、調節閥等，為客戶提供全面的真空技術解決方案。