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高純氣閥門

發布時間:2025-05-10 05:36:58

❶ 真空閥門和普通閥門有什麼區別

真空閥門是指閥門內腔為真空狀態,通常叫負壓,內腔壓力低於大氣壓,用專於真空管道系統屬的閥門,有真空球閥,真空蝶閥,真空隔膜閥等。介質為高純度。
球閥、閘閥、截止閥等等均能生產成真空閥和普通常規閥門。從外形上無區別,在閥門連接部位設計上是有分別的,只是細節上的問題。
真空閥門相對於正壓閥門具有下列特點:
壓力低於大氣壓,而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質的工作溫度取決於使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的緻密性。
按介質壓力真空閥門可分成四組:
1)低真空閥門:介質壓力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空閥門:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空閥門:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空閥門:p≤1×10-8 毫米汞柱。
真空閥門廣泛採用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制,但大通徑來說,可用的還有球閥、柱塞閥和蝶閥。

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羅達萊克斯閥門(上海)有限公司
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❸ 半導體零部件之閥門行業研究:國產替代方興未艾

(報告出品方/作者:興業證券,李雙亮、王佩麟)
1、真空閥:真空系統核心零部件,瑞士 VAT 主導市場
1.1、真空閥:真空系統核心零部件,主要起隔離/控制/傳輸作用
真空閥指的是用在真空系統中的閥門,其作用通常為隔離真空區域(如工藝腔室) 或控制氣體進出量。真空閥在半導體設備中普遍應用,貫穿半導體製造過程始終。
從類型劃分,真空閥包括隔離閥、控制閥(調節閥)、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等。在半導體設備的真空系統中,隔離閥、控制閥、傳輸閥 應用較多。
具體而言,隔離閥用於隔絕/接通作用,如連接真空泵,控制氣體進入真空泵系統; 控制閥主要控制氣體流量和壓力;傳輸閥用於晶圓在腔體之間的傳輸。
隔離閥常見類型有角閥和閘閥。閘閥通過閘板的升降實現隔絕/接通,通常用於腔體 和真空泵之間;角閥用於排氣管路和抽氣系統連接,適用於真空系統中的排氣管路 和抽氣系統。
控制閥主要用於真空腔體和分子泵之間,包括擺閥(鍾擺閥)、蝶閥等。擺閥通過旋轉運動控制隔離和流量調節,蝶閥的閥瓣圍繞軸線旋轉,實現快速精確的調節。
傳輸閥是長方形截面的閥門,用於連接真空腔室,實現晶圓在不同腔室之間的傳輸。
1.2、真空閥要求嚴苛,瑞士 VAT 主導市場
真空閥要求在密封性、流量控制、顆粒產生、振動、穩定性等方面表現優異,尤其是 在半導體製造這種對工藝環境有極高要求的領域。瑞士 VAT 公司在全球半導體真空閥市場中占據約 75%的份額,2022 年實現收入 11.45 億瑞士法郎,其中閥門產品收入 9.33 億瑞士法郎。
全球半導體真空閥市場規模約 10 億美元,而泛半導體真空閥市場規模則達 12.7 億 美元。市場格局集中,除了瑞士 VAT 之外,MKS、VTEX、CKD、SMC、Ulvac 等 廠商也占據一定市場份額。
1.3、國際龍頭梳理
1.3.1、瑞士 VAT 公司
瑞士 VAT 公司作為全球真空閥龍頭,2022 年實現收入 11.45 億瑞士法郎,閥門產 品收入 9.33 億瑞士法郎,服務收入 2.13 億瑞士法郎。其中,半導體為最大下游應 用,收入為 7.17 億瑞士法郎。
VAT 公司提供全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關閉閥等產品,為各領域提供 最佳解決方案。其真空閘閥、角閥、蝶閥、擺閥等產品在行業標准中占據領先地位。
2、流體系統閥門:流體系統核心元件,美廠占據重要地位
2.1、半導體工藝設備供氣和氣路系統中廣泛應用的關鍵元件
除在真空系統中應用廣泛外,閥門也是半導體行業高純流體系統的核心元件,主要 用於開關截止、流量調節和流向改變。在半導體製造工藝設備內部的氣體管路系統 和供氣系統中,需要大量高純閥門參與控制。
供氣系統將電子氣體從氣源送往工藝設備端,其中包括氣櫃(Gas Cabinets)、多 功能閥箱/閥盤(Valve Manifold Boxes/Panels)、二次配閥盤(Hookup)等環節,均 需使用閥門。
2.2、流體系統閥門要求更顯嚴苛,美國廠商占據重要地位
流體系統對閥門有著極高要求,包括潔凈度、材質純度、抗腐蝕能力、快速吹掃無 泄露、流體控制精度等。例如,半導體工藝設備需要使用腐蝕性強的氣體,管路和 閥門容易腐蝕,因此對材料和表面電化學處理有嚴格要求。
Gas Box 作為氣路系統的核心部件,內部包含各種介質控制氣路,需要可靠穩定的流體系統元件,高純閥門需滿足體積緊湊、滿足 SEMI 標準的泄漏率和潔凈度要求。 隨著晶體管微縮和新材料引入,對閥門的性能提出了更高要求。
2.3、全球龍頭廠商梳理
2.3.1、Swagelok
美國 Swagelok 公司提供流體系統產品、組裝和服務,為油氣、化工、半導體、清 潔能源等各個行業提供隔膜閥、波紋管閥、單向閥、調壓閥、ALD 閥等產品。
針對半導體行業,Swagelok 產品覆蓋閥門、調壓閥、接頭、軟管、過濾器、焊接系 統等,尤其在超高純閥門領域,Swagelok 提供多種型號,為半導體流體系統提供全面高質量解決方案。
2.3.2、Fujikin
日本 Fujikin 公司提供閥門、接頭、流體系統等產品,涵蓋半導體、太空開發、氫 能利用、制葯和食品、鋰電池等多個領域。Fujikin 在半導體領域提供隔膜閥、單 向閥、波紋管閥等各種閥門。
3、國產替代緊迫性凸顯,優質廠商有望突破放量
3.1、國產設備廠商成長空間巨大,零部件國產替代正當時
國內存儲廠商和邏輯製程廠商在擴產,但受美國制裁影響,擴產速度受到限制。 隨著本土晶圓廠快速擴產和外資晶圓廠在大陸投資放緩,設備市場規模主要由國 內晶圓廠采購形成。自主可控趨勢下,設備整體國產化率有望顯著提升,國產化 空間巨大。
3.2、半導體閥門國產替代方興未艾,尤其流體閥門國產化空間極大
美國制裁加劇設備進口限制,零部件自主可控需求增強。國內晶圓廠產線中半導體閥門仍依賴海外廠商。其中,真空閥市場主要由瑞士 VAT 主導,流體閥市場主要由美國 Swagelok、美國 Parker Hannifin、日本 Fujikin 等廠商主導。流體閥門要求嚴苛,國產替代緊迫性尤為明顯。國內已 有廠商如新萊應材、晶盛機電、九天真空等在真空閥領域具備國產替代基礎,未來成長空間巨大。
3.3、優質國產廠商梳理
3.3.1、新萊應材
新萊應材是半導體真空和氣體系統國產化率較低、競爭格局較好的行業領先廠商, 產品包括真空法蘭、管件、閥、腔體等,以及超高純管道、隔膜閥、卸荷閥等氣 體產品。公司與海內外設備龍頭以及知名 fab 廠有良好合作關系,預計將是細分 領域國產替代的排頭兵。
3.3.2、晶盛機電
晶盛機電提供光伏和半導體設備,延伸至藍寶石材料、碳化硅材料及關鍵零部件, 包括金剛線、石英坩堝、精密零部件等。在閥門產品方面,公司與日本 Primet 合 作,實現隔膜閥量產,用於半導體和光伏設備。
3.3.3、九天真空
九天真空提供真空閥、薄膜規等產品,廣泛應用於戰略支柱行業。公司擁有齊全的 真空產品線,包括插板閥、翻板閥、調節閥等,為客戶提供全面的真空技術解決方案。

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