1. 晶圓真空機械手,5軸水平雙手指結構
革新性的5軸水平雙手指晶圓真空機械手GTVCR5330-060-AM,專為高效潔凈操作而設計</
這款機械手憑借其獨特的5軸水平多關節結構,為半導體生產中的精密操作提供了前所未有的靈活性和效率。它專為真空環境中的腔室工作檯布局而打造,無論是並排還是復雜排列,都能輕松適應,展現出卓越的布局適應性。
優化空間,減小影響</
通過精心設計的機械手臂尺寸,GTVCR5330-060-AM能夠顯著減小真空腔室內部的空間需求,確保高效利用每一寸空間,提升整體工藝流程的緊湊性。
專用inline設備的理想搭檔</
這款機械手特別適用於inline生產線上,以高效、精確的搬運能力,確保晶圓的無縫流轉,降低生產中斷的風險。
專業配置</
先進動力系統</
全軸採用高精度AC伺服電機,配合S曲線加減速控制,提供超高速、高精度的晶圓搬運能力。
多材質選擇,穩固承載</
手指部分採用CFRP、鋁合金和高純度陶瓷等材質,提供強度與耐磨性的完美結合,確保晶圓在搬運過程中的穩定。
多樣化的晶圓固定方式</
下托式、自重邊緣夾持以及摩擦力保持的O型膠圈設計,確保晶圓在不同場景下的穩固固定。
技術參數概覽</
這款5軸水平多關節型晶圓真空機械手GTVCR5330-060-AM,以其卓越性能和全面的功能,無疑是高效潔凈生產線的理想選擇,引領半導體製造領域的未來。
2. SCARA機器人和scara機械手有什麼差別能代替人工自動做事嗎
SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm的縮寫,意思是一種應用於裝配作業的機器人手臂。它有3個旋轉關節,最適用於平面定位。英文全稱:SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm,中文譯名:選擇順應性裝配機器手臂)是一種圓柱坐標型的特殊類型的工業機器人。SCARA機器人和scara機械手是叫法不一樣,還有叫:平行四軸工業機械手、快速搬運機械手、水平多關節機器人。特點是:體量小、速度快、精準度高。
SCARA機器人有3個旋轉關節,其軸線相互平行,在平面內進行定位和定向。另一個關節是移動關節,用於完成末端件在垂直於平面的運動。手腕參考點的位置是由兩旋轉關節的角位移φ1和φ2,及移動關節的位移z決定的,即p=f(φ1,φ2,z),如圖所示。這類機器人的結構輕便、響應快,例如Adept1型SCARA機器人運動速度可達10m/s,比一般關節式機器人快數倍。它最適用於平面定位,垂直方向進行裝配的作業。
1978年,日本山梨大學牧野洋發明SCARA,該機器人具有四個軸和四個運動自由度,(包括沿X,Y,Z方向的平移和繞Z軸的旋轉自由度)。
SCARA系統在x,y方向上具有順從性,而在Z軸方向具有良好的剛度,此特性特別適合於裝配工作,例如將一個圓頭針插入一個圓孔,故SCARA系統首先大量用於裝配印刷電路板和電子零部件;SCARA的另一個特點是其串接的兩桿結構,類似人的手臂,可以伸進有限空間中作業然後收回,適合於搬動和取放物件,如集成電路板等。
如今SCARA機器人還廣泛應用於塑料工業、汽車工業、電子產品工業、葯品工業和食品工業等領域。它的主要職能是搬取零件和裝配工作。它的第一個軸和第二個軸具有轉動特性,第三和第四個軸可以根據工作的需要的不同,製造成相應多種不同的形態,並且一個具有轉動、另一個具有線性移動的特性。由於其具有特定的形狀,決定了其工作范圍類似於一個扇形區域。
SCARA機器人可以被製造成各種大小,最常見的工作半徑在100毫米至1000毫米之間,此類的SCARA機器人的凈載重量在1千克至200千克之間。
3. 國內工業機械手品牌前十名是那些
智立CHILLI,這個品牌在這幾年成長很快,公司名字是:卉喆自動化系統(上海)有限公司,專業桁架機械手,非標自動化的研發、製造