1. 機械泵分子泵擴散泵蠕動泵有什麼區別。。。。它們的工作原理分別是什麼
機械泵復由電機和泵制體兩大部分組成。普通型機械泵由電機通過皮帶帶動泵軸旋轉；直連型機械泵是電機直接與泵軸連接，無中間傳動環節。機械泵是利用氣體膨脹、壓縮、排出的原理，把氣體從容器里抽出的。
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。
擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由於擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高於蒸氣流中該氣體的分壓強。
蠕動泵就像用手指夾擠一根充滿流體的軟管，隨著手指向前滑動管內流體向前移動。蠕動泵也是這個原理只是由滾輪取代了手指。通過對泵的彈性輸送軟管交替進行擠壓和釋放來泵送流體。
2. 雙泵並聯好還是串聯好
答案：雙泵串聯好！
泵的主要目的是抽真空，泵串聯是為了增加抽真空能力
常見的真空泵有以下幾類，油機械泵、羅茨泵、擴散泵、鈦吸附泵、渦輪分子泵。泵串聯一般是為了增加腔體的真空程度。工業上為了得到超高真空，一般是串聯真空泵。常見的真空串聯方式是，真空腔體先接渦輪分子泵，再接擴散泵、再接油機械泵（原因比較復雜）。
泵串聯起來後使用有一定的講究，開機時先開油機械泵、再開擴散泵、再接渦輪分子泵；關機時先關分子泵、再關擴散泵、最後關機械泵。如不按循序關，會導致擴散泵的油迴流，渦輪分子泵的葉片斷裂。