1. X 射 線 能 譜 儀 (EDS)
設備型號：Horiba 7021-H
原理：EDS能譜儀，一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或透射電鏡聯用。在真空室下，電子束轟擊樣品表面，激發物質發射出特徵x射線，根據波長分析元素周期表中B-U的元素。EDS提供樣品表面微區的定性或半定量元素分析，以及特定區域的點、線掃描和地圖分析。
注意點：主要進行元素定性分析。EDS分析原子序數大於5的元素，波譜儀分析4～92元素。分析方式包括點、線、面分析。點分析提供一點的元素；線分析多次掃描得到元素線分布；面分析提供測量面的平均元素含量。微區分析激發體積約為10um3。EDS常與SEM結合使用，進行目標部位的點、線、面形貌掃描和成分分析。檢測極限為0.1%，半定量分析精度一般在1%到5%，深度為1~5微米。
應用領域：包括燈珠來料元素檢測、晶元結構分析、支架結構分析、鋰電池材料元素分布等。
EDS能譜儀用於物質元素分析，進行成分分析、定性定量測試、元素測試。結合SEM/EDS掃描電鏡進行能譜分析，提供EDS能譜點、線、面映射。