1. FTIR和SEM是什麼
FTIR是指紅外光譜儀器的第三代傅立葉變換紅外吸收光譜儀(FTIR)。SEM是1965年發明的較現代的細胞生物學研究工具掃描電子顯微鏡。
2. XPS&FTIR是什麼
是X光電子能譜和紅外光譜。
XPS=X-ray Photoelectron Spectros X射線光電子能譜分析。FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀用於半導體製造業。FTIR仍利用紅外線光譜經傅里葉變換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。
3. FTIR分析儀是什麼
FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀(Fourier Transform infrared spectros)
用於半導體製造業。FTIR乃利用紅外線光譜經傅利葉轉換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。
目的:·已發展成熟,可Routine應用者,計 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.晶元之含氧、含碳量預測。 C.磊晶之厚度量測。·
發展中需進一步Setup者有: A.氮化硅中氫含量預測。 B.復晶硅中含氧量預測。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器,STD的建立為整個量測之重點,由於其中多利用光學原理、晶元狀況(i.e.晶背處理狀況)對量測結果影響至鉅。
目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的,光譜儀主要由光源(硅碳棒、高壓汞燈)、邁克爾遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀,把樣品放在檢測器前,由於樣品對某些頻率的紅外光產生吸收,使檢測器接受到的干涉光強度發生變化,從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線,藉助傅里葉變換函數可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可有計算機完成。
用傅里葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟:
1)、分別收集背景(無樣品時)的干涉圖及樣品的干涉圖;
2)、分別通過傅里葉變換將上述干涉圖轉化為單光束紅外光;
3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜,得到樣品的透射光譜或吸收光譜。
參考網路
4. 儀器分析中各儀器名稱及英文字母縮寫
紫外UV
紅外FTIR
高效液相HPLC
超高效液相UPLC
氣相GC
液質聯用LC-MS
氣質聯用GC-MS
質譜MS
等離子體質譜ICP-MS等等啦。
5. FTIR是什麼儀器分析方法
