1. veeco,mocvd有什麼方面的耗材
1、生產原材料類 藍寶石襯底（圖形襯底或平面襯底）、有機源（鎵源、鎂源、鋁源等）、氨氣、高純氮、高純氫2、設備易損件 石墨盤（100多爐換，看工藝了）、加熱系統備件（沒問題的話能用年把）、尾氣過濾器（常換） Veeco有些型號的設備帶有小型氣體純化器，此類不能再生，也應該算耗材之一吧。3、配套耗材 手套、無塵布、無水乙醇、尾氣中和用的酸等