㈠ 請問:單晶硅生產線主要設備有哪些,每項設備的主要廠家、設備型號,影響最終生產效率的主要因素
要建設單晶硅生產線,除了硅晶體生長設備外,還一般要建起相關的配套設施:供配電系統、冷卻水系統、惰性氣體供應系統,真空系統以及生產環境所需的空調空氣過濾系統,
常見的硅晶體生長爐有:上海漢紅 浙江晶勝 北京經運通 華勝天龍 西安理工等
像自動化程度比較高的有 浙江晶勝 上海漢紅 美國凱科斯等當然價格是很昂貴的,國產8寸的爐子價格在一百五十萬以上 進口合資的更高一般兩百萬以上。單晶爐的設備型號主要以爐子的裝料量和拉制晶棒的直徑來定義:85 90等
國產半自動的爐子主要有:經運通 西安理工 晶儀 晶龍和天龍等,這些爐子只能在等徑和收尾的時候自動運行人工干預的程度比上面提到的爐子要大,但價格便宜,結實來用所以也有很多廠家在用。
要拉出一根高品質的晶棒,除了運行可靠、控制平穩的爐子外更大程度是和所用原料、配料工藝以及保溫熱場有關,所以除了挑選合適的單晶爐外,我們還需要對原料的采購、配料工藝的制定、熱場和石英坩堝的選擇有嚴格要求。