1. 晶圆真空机械手,5轴水平双手指结构
革新性的5轴水平双手指晶圆真空机械手GTVCR5330-060-AM,专为高效洁净操作而设计</
这款机械手凭借其独特的5轴水平多关节结构,为半导体生产中的精密操作提供了前所未有的灵活性和效率。它专为真空环境中的腔室工作台布局而打造,无论是并排还是复杂排列,都能轻松适应,展现出卓越的布局适应性。
优化空间,减小影响</
通过精心设计的机械手臂尺寸,GTVCR5330-060-AM能够显著减小真空腔室内部的空间需求,确保高效利用每一寸空间,提升整体工艺流程的紧凑性。
专用inline设备的理想搭档</
这款机械手特别适用于inline生产线上,以高效、精确的搬运能力,确保晶圆的无缝流转,降低生产中断的风险。
专业配置</
先进动力系统</
全轴采用高精度AC伺服电机,配合S曲线加减速控制,提供超高速、高精度的晶圆搬运能力。
多材质选择,稳固承载</
手指部分采用CFRP、铝合金和高纯度陶瓷等材质,提供强度与耐磨性的完美结合,确保晶圆在搬运过程中的稳定。
多样化的晶圆固定方式</
下托式、自重边缘夹持以及摩擦力保持的O型胶圈设计,确保晶圆在不同场景下的稳固固定。
技术参数概览</
这款5轴水平多关节型晶圆真空机械手GTVCR5330-060-AM,以其卓越性能和全面的功能,无疑是高效洁净生产线的理想选择,引领半导体制造领域的未来。
2. SCARA机器人和scara机械手有什么差别能代替人工自动做事吗
SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm的缩写,意思是一种应用于装配作业的机器人手臂。它有3个旋转关节,最适用于平面定位。英文全称:SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm,中文译名:选择顺应性装配机器手臂)是一种圆柱坐标型的特殊类型的工业机器人。SCARA机器人和scara机械手是叫法不一样,还有叫:平行四轴工业机械手、快速搬运机械手、水平多关节机器人。特点是:体量小、速度快、精准度高。
SCARA机器人有3个旋转关节,其轴线相互平行,在平面内进行定位和定向。另一个关节是移动关节,用于完成末端件在垂直于平面的运动。手腕参考点的位置是由两旋转关节的角位移φ1和φ2,及移动关节的位移z决定的,即p=f(φ1,φ2,z),如图所示。这类机器人的结构轻便、响应快,例如Adept1型SCARA机器人运动速度可达10m/s,比一般关节式机器人快数倍。它最适用于平面定位,垂直方向进行装配的作业。
1978年,日本山梨大学牧野洋发明SCARA,该机器人具有四个轴和四个运动自由度,(包括沿X,Y,Z方向的平移和绕Z轴的旋转自由度)。
SCARA系统在x,y方向上具有顺从性,而在Z轴方向具有良好的刚度,此特性特别适合于装配工作,例如将一个圆头针插入一个圆孔,故SCARA系统首先大量用于装配印刷电路板和电子零部件;SCARA的另一个特点是其串接的两杆结构,类似人的手臂,可以伸进有限空间中作业然后收回,适合于搬动和取放物件,如集成电路板等。
如今SCARA机器人还广泛应用于塑料工业、汽车工业、电子产品工业、药品工业和食品工业等领域。它的主要职能是搬取零件和装配工作。它的第一个轴和第二个轴具有转动特性,第三和第四个轴可以根据工作的需要的不同,制造成相应多种不同的形态,并且一个具有转动、另一个具有线性移动的特性。由于其具有特定的形状,决定了其工作范围类似于一个扇形区域。
SCARA机器人可以被制造成各种大小,最常见的工作半径在100毫米至1000毫米之间,此类的SCARA机器人的净载重量在1千克至200千克之间。
3. 国内工业机械手品牌前十名是那些
智立CHILLI,这个品牌在这几年成长很快,公司名字是:卉喆自动化系统(上海)有限公司,专业桁架机械手,非标自动化的研发、制造