1. 机械泵分子泵扩散泵蠕动泵有什么区别。。。。它们的工作原理分别是什么
机械泵复由电机和泵制体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转；直连型机械泵是电机直接与泵轴连接，无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理，把气体从容器里抽出的。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。
蠕动泵就像用手指夹挤一根充满流体的软管，随着手指向前滑动管内流体向前移动。蠕动泵也是这个原理只是由滚轮取代了手指。通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。
2. 双泵并联好还是串联好
答案：双泵串联好！
泵的主要目的是抽真空，泵串联是为了增加抽真空能力
常见的真空泵有以下几类，油机械泵、罗茨泵、扩散泵、钛吸附泵、涡轮分子泵。泵串联一般是为了增加腔体的真空程度。工业上为了得到超高真空，一般是串联真空泵。常见的真空串联方式是，真空腔体先接涡轮分子泵，再接扩散泵、再接油机械泵（原因比较复杂）。
泵串联起来后使用有一定的讲究，开机时先开油机械泵、再开扩散泵、再接涡轮分子泵；关机时先关分子泵、再关扩散泵、最后关机械泵。如不按循序关，会导致扩散泵的油回流，涡轮分子泵的叶片断裂。