1. X 射 线 能 谱 仪 (EDS)
设备型号：Horiba 7021-H
原理：EDS能谱仪，一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或透射电镜联用。在真空室下，电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据波长分析元素周期表中B-U的元素。EDS提供样品表面微区的定性或半定量元素分析，以及特定区域的点、线扫描和地图分析。
注意点：主要进行元素定性分析。EDS分析原子序数大于5的元素，波谱仪分析4～92元素。分析方式包括点、线、面分析。点分析提供一点的元素；线分析多次扫描得到元素线分布；面分析提供测量面的平均元素含量。微区分析激发体积约为10um3。EDS常与SEM结合使用，进行目标部位的点、线、面形貌扫描和成分分析。检测极限为0.1%，半定量分析精度一般在1%到5%，深度为1~5微米。
应用领域：包括灯珠来料元素检测、芯片结构分析、支架结构分析、锂电池材料元素分布等。
EDS能谱仪用于物质元素分析，进行成分分析、定性定量测试、元素测试。结合SEM/EDS扫描电镜进行能谱分析，提供EDS能谱点、线、面映射。