1. FTIR和SEM是什么
FTIR是指红外光谱仪器的第三代傅立叶变换红外吸收光谱仪(FTIR)。SEM是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具扫描电子显微镜。
2. XPS&FTIR是什么
是X光电子能谱和红外光谱。
XPS=X-ray Photoelectron Spectros X射线光电子能谱分析。FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪用于半导体制造业。FTIR仍利用红外线光谱经傅里叶变换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
3. FTIR分析仪是什么
FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪(Fourier Transform infrared spectros)
用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
目的:·已发展成熟,可Routine应用者,计 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·
发展中需进一步Setup者有: A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器,STD的建立为整个量测之重点,由于其中多利用光学原理、芯片状况(i.e.晶背处理状况)对量测结果影响至钜。
目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的,光谱仪主要由光源(硅碳棒、高压汞灯)、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪,把样品放在检测器前,由于样品对某些频率的红外光产生吸收,使检测器接受到的干涉光强度发生变化,从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线,借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。
用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤:
1)、分别收集背景(无样品时)的干涉图及样品的干涉图;
2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光;
3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱,得到样品的透射光谱或吸收光谱。
参考网络
4. 仪器分析中各仪器名称及英文字母缩写
紫外UV
红外FTIR
高效液相HPLC
超高效液相UPLC
气相GC
液质联用LC-MS
气质联用GC-MS
质谱MS
等离子体质谱ICP-MS等等啦。
5. FTIR是什么仪器分析方法
