超声波扫描显微镜怎么样

A. 超声显微镜的介绍

超声显微镜，ultrasonic microscope，利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布拉格衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构。能观察材料内部与声学性质差别有关的结构，这是用普通光学显微镜和电子显微镜所不能观察到的。超声显微镜利用物体声学特性的差异来显示物体。声学特性指的是声阻抗率和声衰减，它们与物质的弹性和粘弹性有关。声镜给出的是物体的声学像或弹性像。声镜还具有一些引人注目的特点，如被测物体不需透光；对于生物组织切片或样品无需染色，观察及时；对于大规模集成电路，毋需损坏样品表面即可直接进行内层观察。声镜与光镜和电镜相互补充，为增进对物质性质的了解提供一种新工具。

B. 超声波显微镜是用什么来进行观察的

超声波显微镜，全称应该是：超声波扫描显微镜，英文Scanning Acoustic Microscope，简称C-SAM，是一种在半导体业界、材料研究领域，广泛使用的一种高分辨无损检测设备。
顾名思义，超声显微镜，当然就是以超声波为主要的探测手段，超声探头频率从5M~1000M不等，应对不同材料、不同分辨率、不同的穿透特性来决定！它的主要原理是：探头发出一定频率的超声波，射到被测物体上，在物体的内部形成反射，接收探头接收的到超声波。当扫描机构作循环往复，接收探头就会接收到整个物体的信号，再通过工控机形成图像！
世界上最著名的超声显微镜企业是德国的KSI公司，它的V系列，如V400、V300等，堪称业界的经典和传奇；其次是美国的Sonoscan，它的Fastline系列，非常有创新力，能实现多工位扫描；德国还有一家叫PVATEPLA，半导体业界比较出名，它对晶圆、晶锭等测量有独到的技术，特别是它在MEMS、晶圆键合等领域的应用。还有一家是Sonix，它也是很多美国企业采用的。
国内有一家知名网站，CSAM世界网，可以看下。

C. 声扫描显微镜的以下为C-SAM的一些说明

近年来，超声波扫描显微镜（C-SAM）已被成功地应用在电子工业，尤其是封装技术研究及实验室之中。由于超音波具有不用拆除组件外部封装之非破坏性检测能力，故C-SAM可以有效的检出IC构装中因水气或热能所造成的破坏如﹕脱层、气孔及裂缝…等。 超声波在行经介质时，若遇到不同密度或弹性系数之物质时，即会产生反射回波。而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异.C-SAM即最利用此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收之讯号变化将之成像。因此，只要被检测的IC上表面或内部芯片构装材料的接口有脱层、气孔、裂缝…等缺陷时，即可由C-SAM影像得知缺陷之相对位置。
C-SAM服务
超声波扫描显微镜(C-SAM)主要使用于封装内部结构的分析，因为它能提供IC封装因水气或热能所造成破坏分析，例如裂缝、空洞和脱层。
C-SAM内部造影原理为电能经由聚焦转换镜产生超声波触击在待测物品上，将声波在不同接口上反射或穿透讯号接收后影像处理，再以影像及讯号加以分析。
C-SAM可以在不需破坏封装的情况下探测到脱层、空洞和裂缝，且拥有类似X-Ray的穿透功能，并可以找出问题发生的位置和提供接口数据，是互补的两种设备。

D. 光学显微镜与超显微镜可以观测的最小微粒尺寸不同,原因是什么

光学显微镜与超显微镜可以观测的最小微粒尺寸不同，原因是：许多成像提供专业的解决方案，超声波扫描显微镜与普通的光学显微镜有着极大的差异。

电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示。现在的电子显微镜最大放大倍率超过三百万倍，因此通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。

电子显微镜

是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。高速的电子的波长比可见光的波长短（波粒二象性），而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制，因此电子显微镜的理论分辨率（约0.1纳米）远高于光学显微镜的分辨率（约200纳米）。

透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。

E. 超声显微镜的工作原理

入射到物体上的声波要发生反射、折射、衍射和吸收等声学现象，经历这些现象的声波因与物体发生相互作用而含有物体的信息，利用声波的某些物理效应把含有新信息的声波显示出来就实现了声成像。至于显微分辨本领则与波长相当。物质中声速约比光速小5个数量级，当声波的频率为3×109时,在水中的波长就达0.5μm，这时声镜的分辨本领已和光镜相近,经放大肉眼便可直观。现就透射式SAM进一步说明（见图）。高频电信号激发压电换能器发射高频超声，经声透镜聚焦成一细小声束，穿过放在焦平面上的被测样品，载物片是几微米厚的聚酯树脂薄膜，声耦合媒质是水，当声波到达对面共焦的声透镜，含有样品信息的声波经压电换能器接收又变成电信号，经接收电路送到示波器，机械扫描装置使载物台作二维扫描运动，使得聚焦声束在样品上作逐点逐行地照射，当机扫与示波管的电子束运动同步，屏幕上出现一幅对应于物体的被照射部位的声像，这幅声像是由许多像元组成。由于扫描频率的限制，一幅声像需几秒才能完成。

F. 几种显微镜的不同和用途

光学显微镜它是在1590年由荷兰的杨森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1500倍，分辨的最小极限达 生物显微镜0.2微米。光学显微镜的种类很多，除一般的外，主要有暗视野显微镜一种具有暗视野聚光镜，从而使照明的光束不从中央部分射入，而从四周射向标本的显微镜.荧光显微镜以紫外线为光源，使被照射的物体发出荧光的显微镜。结构为：目镜，镜筒，转换器，物镜，载物台，通光孔，遮光器，压片夹，反光镜，镜座，粗准焦螺旋，细准焦螺旋，镜臂，镜柱。 暗视野显微镜暗视野显微镜由于不将透明光射入直接观察系统，无物体时，视野暗黑，不可能观察到任何物体，当有物体时，以物体衍射回的光与散射光等在暗的背景中明亮可见。在暗视野观察物体，照明光大部分被折回，由于物体(标本)所在的位置结构，厚度不同，光的散射性，折光等都有很大的变化。 相位差显微镜相位差显微镜的结构： 相位差显微镜，是应用相位差法的显微镜。因此，比通常的显微镜要增加下列附件： (1) 装有相位板(相位环形板)的物镜，相位差物镜。 (2) 附有相位环(环形缝板)的聚光镜，相位差聚光镜。 (3) 单色滤光镜-(绿)。 各种元件的性能说明 (1) 相位板使直接光的相位移动 90°，并且吸收减弱光的强度，在物镜后焦平面的适当位置装置相位板，相位板必须确保亮度，为使衍射光的影响少一些，相位板做成环形状。 (2) 相位环(环状光圈)是根据每种物镜的倍率，而有大小不同，可用转盘器更换。 (3) 单色滤光镜系用中心波长546nm(毫微米)的绿色滤光镜。通常是用单色滤光镜入观察。相位板用特定的波长，移动90°看直接光的相位。当需要特定波长时，必须选择适当的滤光镜，滤光镜插入后对比度就提高。此外，相位环形缝的中心，必须调整到正确方位后方能操作，对中望远镜就是起这个作用部件。 视频显微镜将传统的显微镜与摄象系统，显示器或者电脑相结合，达到对被测物体的放大观察的目的。 视频显微镜也可叫做数码显微镜最早的雏形应该是相机型显微镜，将显微镜下得到的图像通过小孔成象的原理，投影到感光照片上，从而得到图片。或者直接将照相机与显微镜对接，拍摄图片。随着CCD摄像机的兴起，显微镜可以通过其将实时图像转移到电视机或者监视器上，直接观察，同时也可以通过相机拍摄。80年代中期，随着数码产业以及电脑业的发展，显微镜的功能也通过它们得到提升，使其向着更简便更容易操作的方面发展。到了90年代末，半导体行业的发展，晶圆要求显微镜可以带来更加配合的功能，硬件与软件的结合，智能化，人性化，使显微镜在工业上有了更大的发展。 荧光显微镜在萤光显微镜上，必须在标本的照明光中，选择出特定波长的激发光，以产生萤光，然后必须在激发光和萤光混合的光线中，单把萤光分离出来以供观察。因此，在选择特定波长中，滤光镜系统，成为极其重要的角色。 萤光显微镜原理： (A) 光源：光源幅射出各种波长的光(以紫外至红外)。 (B) 激励滤光源：透过能使标本产生萤光的特定波长的光，同时阻挡对激发萤光无用的光。 (C) 萤光标本：一般用萤光色素染色。 (D) 阻挡滤光镜：阻挡掉没有被标本吸收的激发光有选择地透射萤光，在萤光中也有部分波长被选择透过。 以紫外线为光源，使被照射的物体发出荧光的显微镜。电子显微镜是在1931年在德国柏林由克诺尔和哈罗斯卡首先装配完成的。这种显微镜用高速电子束代替光束。由于电子流的波长比光波短得多，所以电子显微镜的放大倍数可达80万倍，分辨的最小极限达0.2纳米。1963年开始使用的扫描电子显微镜更可使人看到物体表面的微小结构。 显微镜被用来放大微小物体的图像。一般应用于对生物、医药、微观粒子等观测。 （1）利用微微动载物台之移动，配全目镜之十字座标线，作长度量测。 （2）利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘，配全合目镜之址字座标线，作角度量测，令待测角一端对准十字线与之重合，然后再让另一端也重合。 （3）利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。 （4）检验金相表面的晶粒状况。 （5）检验工件加工表面的情况。 （6）检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。 偏光显微镜偏光显微镜是用于研究所谓透明与不透明各向异性材料的一种显微镜。凡具有双折射的物质，在偏光显微镜下就能分辨的清楚，当然这些物质也可用染色法来进行观察，但有些则不可能，而必须利用偏光显微镜。 偏振光显微镜（1）偏光显微镜的特点 将普通光改变为偏振光进行镜检的方法，以鉴别某一物质是单折射（各向同行）或双折射性（各向异性）。双折射性是晶体的基本特性。因此，偏光显微镜被广泛地应用在矿物、化学等领域，在生物学和植物学也有应用。 （2）偏光显微镜的基本原理 偏光显微镜的原理比较复杂，在此不作过多介绍,偏光显微镜必须具备以下附件：起偏镜，检偏镜，补偿器或相位片，专用无应力物镜，旋转载物台。 超声波显微镜超声波扫描显微镜的特点在于能够精确的反映出声波和微小样品的弹性介质之间的相互作用，并对从样品内部反馈回来的信号进行分析！图像上（C-Scan）的每一个象素对应着从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈，具有良好聚焦功能的Z.A传感器同时能够发射和接收声波信号。一副完整的图像就是这样逐点逐行对样品扫描而成的。反射回来的超声波被附加了一个正的或负的振幅，这样就可以用信号传输的时间反映样品的深度。用户屏幕上的数字波形展示出接收到的反馈信息（A-Scan）。设置相应的门电路，用这种定量的时间差测量（反馈时间显示），就可以选择您所要观察的样品深度。 解剖显微镜解剖显微镜，又被称为实体显微镜或立体显微镜，是为了不同的工作需求所设计的显微镜。利用解剖显微镜观察时，进入两眼的光各来自一个独立的路径，这两个路径只夹一个小小的角度，因此在观察时，样品可以呈现立体的样貌。解剖显微镜的光路设计有两种： The Greenough Concept和The Telescope Concept。解剖显微镜常常用在一些固体样本的表面观察，或是解剖、钟表制作和小电路板检查等工作上。 共聚焦显微镜从一个点光源发射的探测光通过透镜聚焦到被观测物体上，如果物体恰在焦点上，那么反射光通过原透镜应当汇聚回到光源，这就是所谓的共聚焦，简称共焦。共焦显微镜[Confocal Laser Scanning Microscope(CLSM或LSCM)]在反射光的光路上加上了一块半反半透镜(dichroic mirror)，将已经通过透镜的反射光折向其它方向，在其焦点上有一个带有针孔(Pinhole)，小孔就位于焦点处，挡板后面是一个 光电倍增管(photomultiplier tube，PMT)。可以想像，探测光焦点前后的反射光通过这一套共焦系统，必不能聚焦到小孔上，会被挡板挡住。于是光度计测量的就是焦点处的反射光强度。其意义是：通过移动透镜系统可以对一个半透明的物体进行三维扫描。 金相显微镜MC006-5XB-PC金相显微镜主要用于鉴定和分析金属内部结构组织，它是金属学研究金相的重要仪器，是工业部门鉴定产品质量的关键设备，该仪器配用摄像装置，可摄取金相图谱，并对图谱进行测量分析，对图象进行编辑、输出、存储、管理等功能。 国内厂家较多，历史悠久。如上海中研仪器厂

G. 显微镜的原理

【显微镜的主要构造】

普通光学显微镜的构造主要分为三部分：机械部分、照明部分和光学部分。

1.机械部分

（1）镜座：是显微镜的底座，用以支持整个镜体。
（2）镜柱：是镜座上面直立的部分，用以连接镜座和镜臂。
（3）镜臂：一端连于镜柱，一端连于镜筒，是取放显微镜时手握部位。
（4）镜筒：连在镜臂的前上方，镜筒上端装有目镜，下端装有物镜转换器。
（5）物镜转换器(旋转器)：接于棱镜壳的下方，可自由转动，盘上有3－4个圆孔，是安装物镜部位，转动转换器，可以调换不同倍数的物镜，当听到碰叩声时，方可进行观察，此时物镜光轴恰好对准通光孔中心，光路接通。
（6）镜台(载物台)：在镜筒下方，形状有方、圆两种，用以放置玻片标本，中央有一通光孔，我们所用的显微镜其镜台上装有玻片标本推进器(推片器)，推进器左侧有弹簧夹，用以夹持玻片标本，镜台下有推进器调节轮，可使玻片标本作左右、前后方向的移动。
（7）调节器：是装在镜柱上的大小两种螺旋，调节时使镜台作上下方向的移动。
①粗调节器(粗螺旋)：大螺旋称粗调节器，移动时可使镜台作快速和较大幅度的升降，所以能迅速调节物镜和标本之间的距离使物象呈现于视野中，通常在使用低倍镜时，先用粗调节器迅速找到物象。
②细调节器(细螺旋)：小螺旋称细调节器，移动时可使镜台缓慢地升降，多在运用高倍镜时使用，从而得到更清晰的物象，并借以观察标本的不同层次和不同深度的结构。

2．照明部分

装在镜台下方，包括反光镜,集光器。
（1）反光镜：装在镜座上面，可向任意方向转动，它有平、凹两面，其作用是将光源光线反射到聚光器上，再经通光孔照明标本，凹面镜聚光作用强，适于光线较弱的时候使用，平面镜聚光作用弱，适于光线较强时使用。
（2）集光器(聚光器)位于镜台下方的集光器架上，由聚光镜和光圈组成，其作用是把光线集中到所要观察的标本上。
①聚光镜：由一片或数片透镜组成，起汇聚光线的作用，加强对标本的照明，并使光线射入物镜内，镜柱旁有一调节螺旋，转动它可升降聚光器，以调节视野中光亮度的强弱。
②光圈(虹彩光圈)：在聚光镜下方，由十几张金属薄片组成，其外侧伸出一柄，推动它可调节其开孔的大小，以调节光量。

3.光学部分

（1）目镜：装在镜筒的上端，通常备有2－3个，上面刻有5×、10×或15×符号以表示其放大倍数，一般装的是10×的目镜。
（2）物镜：装在镜筒下端的旋转器上，一般有3－4个物镜，其中最短的刻有“10×”符号的为低倍镜，较长的刻有“40×”符号的为高倍镜，最长的刻有“100×”符号的为油镜，此外，在高倍镜和油镜上还常加有一圈不同颜色的线，以示区别。
显微镜的放大倍数是物镜的放大倍数与目镜的放大倍数的乘积，如物镜为10×，目镜为10×，其放大倍数就为10×10=100。

显微镜的成像原理】

当把待观察物体放在物镜焦点外侧靠近焦点处时，在物镜后所成的实像恰在目镜焦点内侧靠近焦点处，经目镜再次放大成一虚像。观察到的是经两次放大后的倒立虚像。

【显微镜的分类】

显微镜分光学显微镜和电子显微镜。
光学显微镜是在1590年由荷兰的杨森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1500倍，分辨的最小极限达0.2微米。光学显微镜的种类很多，除一般的外，主要有暗视野显微镜一种具有暗视野聚光镜，从而使照明的光束不从中央部分射入，而从四周射向标本的显微镜.荧光显微镜以紫外线为光源，使被照射的物体发出荧光的显微镜。
电子显微镜是在1931年在德国柏林由克诺尔和哈罗斯卡首先装配完成的。这种显微镜用高速电子束代替光束。由于电子流的波长比光波短得多，所以电子显微镜的放大倍数可达80万倍，分辨的最小极限达0.2纳米。1963年开始使用的扫描电子显微镜更可使人看到物体表面的微小结构。
光学显微镜的分类，根据照明方法，有透射型与反射(落射)型二种。透射型显微镜是应用透射照明通过透明物体的打光方法。反射型显微镜是以物镜上方打光到(落射照明)不透明的物体上。另一种分类方法，系根据观察方法的差异，分为明视野显微镜、暗视野显微镜、相位差显微镜、偏光显微镜、干涉相位差显微镜、荧光显微镜等。每种显微镜一般又各有透射型和反射型二种。在这些显微镜中，特别是明视野显微镜是构成所有显微镜中组成最基本的基础。通过这种显微镜观察的物体，穿过透过(吸收)率、反射率，因场所不同而各不相同，这种物体被称为随照明光强度(振幅)变化振幅物体，无色透明物体只有在照明相位改变时，才能被肉眼观察到，由於明视野显微镜不能改变相位，所以对透明不染色标本不能被观察到。

光学显微镜是为了使肉眼看不清楚的标本影像，人们设想经过一种装置，使肉眼能够观察到该标本组织形态和其间的结构。这种设想的装置就被后人创造问世了。当前广泛应用在各种微小物体的观察、测定、分析、分类、鉴定等。在波长范围上也不限於可见光波段(4000~7000 )而且(＞2000 )到红外(1~2u)以及用眼睛观察、显微、摄影和一般辐射检测器放大。

显微镜的综合倍率是物镜倍率G1与目镜倍率G2的乘积，G＝G1×G2。G1是1~100倍，G2是5~20的范围。
数值孔径(Numerical Aperture)N.A.是决定物镜的分辨率、焦深、图像亮度的基本数据，当物镜焦点对好后，物镜前透镜最边缘处的倾斜光线与显微镜光轴所交角成α，此即该物镜的半孔径角设标本数据空间的折射率为n，则N.A.＝n×sinα。
n通常在空气中为1，在物镜与标本间浸入水、甘油、油脂时，该标本折射率，即随浸液不同而异。这种物镜称为浸液系物镜；如是空气时，称为干燥系物镜。
在显微镜上，限制视野的装置是视野光圈。以物镜侧观看这种视野光圈时的直径以mm单位表示的值称为视野数。实际视野＝视野。
实际视野＝视野数／物镜倍率
例如，视野数为20，则10×物镜就观看2mm视野范围。应用聚光镜时，根据可变的视野光圈，再决定选用聚光镜的N.A.值，其值是取决於可变聚光镜孔径光圈来确定。

显微镜的发明，使人看到了许多以前从未看到过的生物，如细菌、病毒等，也使人看到了生物的许多微小结构，如线粒体的结构，从而对生物学的发展起着重要的推动作用。显微镜是生物学研究的重要仪器之一。在医学、工农业生产中显微镜也有着重要用途，例如在医学诊断上，可对人血液中的红细胞进行计数等。
十九世纪中期，人们发明了光学显微镜。
1665年，英国学者虎克(Robert Hooke)设计制造了首架光学显微镜，当时放大倍数为40~140倍，并用此首次观察并描述了植物细胞，同年发表《显微图谱》一书。
此后，荷兰学者列文·虎克(A。V。Leeuwenhoek)用自己设计的更先进的显微镜观察了动物细胞，并描述了细胞核的形态。直到今天，光学显微技术已从普通复式光学显微技术发展为荧光显微技术、共焦点激光扫描显微镜技术、数字成象显微镜技术、暗场显微镜技术、相差和微分干涉显微镜技术和录像增加反差显微镜技术等等。
可见，光学显微技术已成为人类认识微观世界的必要工具，借助它，使人们认识了细胞。然而，准确的理论计算表明，光学显微镜质量无论无何改善--不论是用多少组镜片，使用油镜头还是加强光源，放大率至多1000~1500，分辨本领至多 。这就成为人类认识更小的物体：病毒和分子、原子的瓶颈问题。
著名物理学家海仑霍尔等人在理论上证明：限制光学显微镜分辨本领及放大率的因素是光的波长。因而人们转向寻找一种成像媒介--波，它具有可视、可拍摄照片、波长短、且能用装置改变波的运动路线的特点。
20世纪初，恰伊斯发明了紫外光显微镜，使分辨率有了大提高 ，这是一次质的飞跃，但紫外线仍不是最好的成像媒介，不能满足科研和生产需要。
1926年，德国科学家蒲许指出，具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜作用。可惜研究者没有考虑到利用它放大物体。
1932年，柏林科工大学压力实验室的年轻研究员卢斯卡和克诺尔对阴极射线示波器做了一些改进，成功得到放大几倍后的铜网图像，这大大鼓舞了人们，确立了电子显微法。
1933年底，卢斯卡制成了能放大一万倍的电子显微镜，并拍摄了金属箔和纤维的放大像。使电子显微镜的放大倍数超过了光学显微镜。
1937年，柏林科工大学的克劳塞和穆勒成功的制出了分辨率为纳米级（10-9m）的电子显微镜，西门子公司得知后，将主要精力转到适用电子显微镜的制造上，并聘请了卢斯进行研究。次年，西门子公司第一批分辨率为 的电子显微镜上市。
随后，在人们的研究下，电子显微镜的质量不断提高。如今，其分辨率和放大倍数使人们能更准确地认识了病毒、分子、原子和夸克。

【暗视野显微镜】

暗视野显微镜由于不将透明光射入直接观察系统，无物体时，视野暗黑，不可能观察到任何物体，当有物体时，以物体衍射回的光与散射光等在暗的背景中明亮可见。在暗视野观察物体，照明光大部分被折回，由于物体(标本)所在的位置结构，厚度不同，光的散射性，折光等都有很大的变化。

【相位差显微镜】

相位差显微镜的结构：
相位差显微镜，是应用相位差法的显微镜。因此，比通常的显微镜要增加下列附件：
(1) 装有相位板(相位环形板)的物镜，相位差物镜。
(2) 附有相位环(环形缝板)的聚光镜，相位差聚光镜。
(3) 单色滤光镜-(绿)。
各种元件的性能说明
(1) 相位板使直接光的相位移动 90°，并且吸收减弱光的强度，在物镜后焦平面的适当位置装置相位板，相位板必须确保亮度，为使衍射光的影响少一些，相位板做成环形状。
(2) 相位环(环状光圈)是根据每种物镜的倍率，而有大小不同，可用转盘器更换。
(3) 单色滤光镜系用中心波长546nm(毫微米)的绿色滤光镜。通常是用单色滤光镜入观察。相位板用特定的波长，移动90°看直接光的相位。当需要特定波长时，必须选择适当的滤光镜，滤光镜插入后对比度就提高。此外，相位环形缝的中心，必须调整到正确方位后方能操作，对中望远镜就是起这个作用部件。

【视频显微镜】

将传统的显微镜与摄象系统，显示器或者电脑相结合，达到对被测物体的放大观察的目的。

最早的雏形应该是相机型显微镜，将显微镜下得到的图像通过小孔成象的原理，投影到感光照片上，从而得到图片。或者直接将照相机与显微镜对接，拍摄图片。随着CCD摄象机的兴起，显微镜可以通过其将实时图像转移到电视机或者监视器上，直接观察，同时也可以通过相机拍摄。80年代中期，随着数码产业以及电脑业的发展，显微镜的功能也通过它们得到提升，使其向着更简便更容易操作的方面发展。到了90年代末，半导体行业的发展，晶圆要求显微镜可以带来更加配合的功能，硬件与软件的结合，智能化，人性化，使显微镜在工业上有了更大的发展。

【荧光显微镜】

在萤光显微镜上，必须在标本的照明光中，选择出特定波长的激发光，以产生萤光，然后必须在激发光和萤光混合的光线中，单把萤光分离出来以供观察。因此，在选择特定波长中，滤光镜系统，成为极其重要的角色。
萤光显微镜原理：
(A) 光源：光源幅射出各种波长的光(以紫外至红外)。
(B) 激励滤光源：透过能使标本产生萤光的特定波长的光，同时阻挡对激发萤光无用的光。
(C) 萤光标本：一般用萤光色素染色。
(D) 阻挡滤光镜：阻挡掉没有被标本吸收的激发光有选择地透射萤光，在萤光中也有部分波长被选择透过。

【偏光显微镜】

偏光显微镜是用于研究所谓透明与不透明各向异性材料的一种显微镜。凡具有双折射的物质，在偏光显微镜下就能分辨的清楚，当然这些物质也可用染色法来进行观察，但有些则不可能，而必须利用偏光显微镜。

（1）偏光显微镜的特点

将普通光改变为偏振光进行镜检的方法，以鉴别某一物质是单折射（各向同行）或双折射性（各向异性）。双折射性是晶体的基本特性。因此，偏光显微镜被广泛地应用在矿物、化学等领域，在生物学和植物学也有应用。

（2）偏光显微镜的基本原理

偏光显微镜的原理比较复杂，在此不作过多介绍,偏光显微镜必须具备以下附件：起偏镜，检偏镜，补偿器或相位片，专用无应力物镜，旋转载物台。

【超声波显微镜】

超声波扫描显微镜的特点在于能够精确的反映出声波和微小样品的弹性介质之间的相互作用，并对从样品内部反馈回来的信号进行分析！图像上（C-Scan）的每一个象素对应着从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈，具有良好聚焦功能的Z.A传感器同时能够发射和接收声波信号。一副完整的图像就是这样逐点逐行对样品扫描而成的。反射回来的超声波被附加了一个正的或负的振幅，这样就可以用信号传输的时间反映样品的深度。用户屏幕上的数字波形展示出接收到的反馈信息（A-Scan）。设置相应的门电路，用这种定量的时间差测量（反馈时间显示），就可以选择您所要观察的样品深度。

【解剖显微镜】

解剖显微镜，又被称为实体显微镜或立体显微镜，是为了不同的工作需求所设计的显微镜。利用解剖显微镜观察时，进入两眼的光各来自一个独立的路径，这两个路径只夹一个小小的角度，因此在观察时，样品可以呈现立体的样貌。解剖显微镜的光路设计有两种： The Greenough Concept和The Telescope Concept。解剖显微镜常常用在一些固体样本的表面观察，或是解剖、钟表制作和小电路板检查等工作上。

H. 超声显微镜与光学显微镜共同点与不同点

为解决生产生活中的实际问题，超声波扫描显微镜应运而生，它可为许多成像提供专业的解决方案，超声波扫描显微镜与普通的光学显微镜有着极大的差异，从工作原理上来说，它带有聚焦功能的高频超声波换能器，业内也将超声波扫描显微镜的工作方式称为逐点扫描，是对于材料内部的检测，它的成像图像是内部结构图像，纳米级的分辨率要完胜周边产品，下面小编就详细的为您介绍一下超声波扫描显微镜与普通的光学显微镜的差距。

一、首先超声波扫描显微镜并非与光学扫描显微镜截然不同，它们之间的相同点是“显示被测样品的显微图像”，而后者是表面的显微图像，前者是内部显微图像；在一些特殊行业特殊领域中，正是需要超声波扫描显微镜的内部成像，从作用原理上光学镜为可见光，而超声波扫描显微镜自然是超声波。

二、此外，从像素角度来说它们两个也有这根本性的差距，超声波显微镜是通过像素pixel进行体现，然而光学镜却以CCD摄像头为主，也正因为结构上的差异，所以超声波扫描显微镜的价格是普通工显镜的数倍，不仅如此，它们的应用领域也有着极大的差距，超声波扫描显微镜几乎囊括了光学显微镜的所有领域，而且它尤其在材料半导体行业应用更广。

三、科技含量不同，作为“门外汉”难了解扫描显微镜中种类的差距，但是专业的超声波扫描显微镜研发人员介绍，勿从概念性上对两种显微镜进行区分，可以简而言之的说超声波扫描显微镜的科技含量更高，它对于生产的要求等级更高。

虽然超声波扫描显微镜与普通的光学显微镜有着诸多的不同点，但是它们也各司其职，并无优劣之分，在不同领域只需要根据使用情况酌情选择即可，由于超声波扫描显微镜在线下较为少见，因此许多企业对于该种显微镜理解上具有局限性，所以要增加对超声波扫描显微镜的详情了解。