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單晶硅生長爐是什麼不銹鋼

發布時間:2022-05-02 12:24:49

1. 單晶硅生長爐的單晶硅生長爐熱場的設計與模擬

在直拉法生長硅單晶的過程中,硅單晶生長的成功與否以及質量的高低是由熱場的溫度分布決定的。溫度分布合適的熱場,不僅硅單晶生長順利,而且品質較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長硅單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量,情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。因此在投資硅單晶生長企業的前期,一定要根據生長設備,配置出最合理的熱場,從而保證生產出來的硅單晶的品質。在直拉硅單晶生長工藝中,一般採用溫度梯度來描述熱場的溫度分布情況,其中在固液界面處的溫度梯度最為關鍵。
數值模擬是在一個低成本的情況下,利用電腦計算提供的詳盡資料,用以支持真正的(且昂貴)實驗。由於數值模擬提供了一個近似真實的過程,利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化(幾何尺寸、保溫材料、加熱器、外圍環境等)對晶體質量的影響做出容易的判斷。數值模擬是用來獲得廉價的,完整的和全面細節的結晶過程,以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說,對於無經驗人員,可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節。所以數值模擬是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑,質量要求的最好辦法。
面向過程的模擬軟體FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優化工作流程。通過對單晶爐熱場的模擬計算,優化設計單晶爐的機械結構,在拉晶過程中以模擬結果設定合理的理論拉晶曲線,就可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。

2. 您好,您有硅 單晶爐的相關資料嗎 關於其設備,材料,方法什麼的,謝謝。

單晶硅生長爐是通過直拉法制備單晶硅的製造設備。

原理簡介
首先,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然後,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和後,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm 左右、直徑為3~5mm的細頸,用於消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程就是引晶;隨後,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,使肩部近似直角;然後,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;最後,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝;這樣一個單晶拉制過程就基本完成,進行一定的保溫冷卻後就可以取出。
直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設備和工藝比較簡單,容易實現自動控制,生產效率高,易於制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質濃度,可以制備低電阻率單晶。據統計,世界上硅單晶的產量中70%~80%是用直拉法生產的。

目前國內外晶體生長設備的現狀如下:

美國KAYEX公司
國外以美國KAYEX 公司為代表,生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX公司是目前世界上最大,最先進的硅單晶體生長爐製造商之一。KAYEX的產品早在80年代初就進入中國市場,已成為中國半導體行業使用最多的品牌。該公司生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

德國CGS GmbH公司
德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH公司成立於1999年8月,其前身為德國萊寶公司晶體生長部。目前其產品已經覆蓋生產6」到16」單晶硅棒的設備,設備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分別為60kg、150kg、300kg,400kg。

中國西安理工大學研究所
國內以西安理工大學的晶體生長設備研究所為代表,自61年起開始生產晶體生長設備。主要產品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛機電工程有限公司是國內單晶硅生長爐行業的後起之秀,自主研發了真正的全自動控制系統,產品迅速佔領了IC級硅材料行業和高端太陽能行業,主要產品有TDR80A-ZJS、 TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR85A-ZJS、TDR95A-ZJS、TDR112A-ZJS。

晶體爐特點
HD系列硅單晶爐的爐室採用3節設計。上筒和上蓋可以上升並向兩邊轉動,便於裝料和維護等。爐筒升降支撐採用雙立柱設計,提高穩定性。支撐柱安裝在爐體支撐平台的上面,便於平台下面設備的維護。爐筒升降採用絲杠提升技術,簡便干凈。
全自動控制系統採用模塊化設計,維護方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實時採集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選,保證控溫精度。質量流量計精確控制氬氣流量。高精度真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。上稱重感測器用於晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用,即可滿足轉動所需的扭矩,又可實現轉速的精確控制。質量流量計精確控制氬氣流量。
自主產權的控制軟體採用視窗平台,操作方便簡潔直觀。多種曲線和數據交叉分析工具提供了工藝實時監控的平台。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。
加熱電源採用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統直流電源節能近15%。
特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。

3. 單晶硅棒原材料是什麼

原料是高純多晶硅。多晶硅在直拉單晶爐中熔化,用籽晶拉出單晶棒。
現在最新技術也用鑄錠爐生產單晶硅,獲得大尺寸的單晶硅。
江蘇中能、江西賽維LDK、四川新光硅業、峨嵋半導體、重慶大全、河南中硅等生產改良西門子法高純多晶硅。目前純多晶硅供應偏緊。

4. 單晶硅生長爐各種配件

爐子本體包括機架、坩堝驅動裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機構、液壓驅動裝置、真空系統、沖氬氣系統及水冷系統。機架由底座、上立柱和下立柱組成,是爐子的支撐裝置。坩堝驅動裝置安裝在底座內的平台上,主爐室(由爐底板、爐底、爐筒和爐蓋組成)安裝在底座的上平面上,上面與翻板閥密封聯結,副室放在翻板閥上,提拉頭安裝在副室上,坩堝驅動裝置與爐室通過波紋管密封聯結,液壓系統中提升油缸安裝在下立柱上。液壓泵放在主機附近的適當位置,真空系統、水冷系統固定在機架上,主爐室是爐子的心臟部位,熱場系統安裝在內。

另外還有電氣部分,控制櫃、加熱系統等。

易損件就是。o型圈、石英玻璃、鍍金石英玻璃、籽晶吊繩、送你份漢宏爐的易損件清單。

5. 單晶硅生長爐的介紹

單晶硅生長爐1是通過直拉法生產單晶硅的製造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。
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6. 單晶硅生長爐屬什麼行業,四位行業代碼是什麼

您好,您問的是生產單晶硅還是單晶硅爐呢?
如果是生產單晶硅 的編號是319
單晶硅爐的編號是 362
希望能幫到您

7. 單晶爐器蓋距是指什麼

通過氟橡膠O型圈實現真空密封。
單晶爐,全自動直拉單晶生長爐,是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶硅爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。
比如120、150等型號是由投料量決定,85爐則是指主爐筒的直徑大小。單晶硅爐的主體構成由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。單晶爐爐體(包括爐底板、主爐室、爐蓋、隔離閥室、副爐室、籽晶提升旋轉機構和坩堝提升旋轉機構)由304L不銹鋼製造。
所有腔體都經過缺陷爐室檢查和探傷檢驗,並且經過0。6MPa水壓試驗和氦質譜檢漏儀檢漏。

8. 請教,單晶硅棒生長爐,現在國內的主要設備型號和價格,還有電話,謝謝

主要的有85和90型單晶硅生長爐,然後配不同的生長控制櫃。價格不太清楚

9. 單晶爐什麼東西

單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅版等多晶材料熔化權,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐的構成:
1、提拉頭:主要由安裝盤、減速機、籽晶腔、劃線環、電機、磁流體、籽晶稱重頭、軟波紋管等其他部件組成
2、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
3、爐蓋:副室連接法蘭、翻板閥、觀察窗、抽真空管道組成
4、爐筒:包括取光孔。
5、下爐筒:包括抽真空管道。
6、底座機架:全鑄鐵機架和底座。
7、坩堝下傳動裝置:主要由磁流體、電機、坩堝支撐軸、減速機、軟波紋管、立柱、上下傳動支撐架、導軌等部件組成。
8、分水器已經水路布置:包括分水器、進水水管、若干膠管、水管卡套等。
9、氬氣管道布置:質量流量計、3根以上的柔性管、不銹鋼管、3個壓力探測器、高密封性卡套等部件。
10、真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵、水環真空泵、過濾器、真空管道、硬波紋管等。
11、電源以及電控櫃:電源櫃、濾波櫃、控制櫃、以及連接線。

10. 單晶硅生長爐操作工,工作是什麼樣的待遇,環境怎麼樣

工作:是3班倒。
待遇:首先要做3個月的實習工,每天12小時制,上3天休倆天,一個月下來也就
是1200左右,轉正以後根據給你的單晶爐和自己的技術走的是產量給工資,那就要看看爐子的性能和收率以及成晶率,那樣的話可以每台爐子大概是掙1000,我現在是一個人看的4台單晶爐。
環境:還算不錯,只要公司到位,我們走的都是6S路線

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