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单晶硅生长炉是什么不锈钢

发布时间:2022-05-02 12:24:49

1. 单晶硅生长炉的单晶硅生长炉热场的设计与仿真

在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况,其中在固液界面处的温度梯度最为关键。
数值模拟是在一个低成本的情况下,利用电脑计算提供的详尽资料,用以支持真正的(且昂贵)实验。由于数值模拟提供了一个近似真实的过程,利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化(几何尺寸、保温材料、加热器、外围环境等)对晶体质量的影响做出容易的判断。数值仿真是用来获得廉价的,完整的和全面细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的最好办法。
面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线,就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。

2. 您好,您有硅 单晶炉的相关资料吗 关于其设备,材料,方法什么的,谢谢。

单晶硅生长炉是通过直拉法制备单晶硅的制造设备。

原理简介
首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm 左右、直径为3~5mm的细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;最后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺;这样一个单晶拉制过程就基本完成,进行一定的保温冷却后就可以取出。
直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。

目前国内外晶体生长设备的现状如下:

美国KAYEX公司
国外以美国KAYEX 公司为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX公司是目前世界上最大,最先进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初就进入中国市场,已成为中国半导体行业使用最多的品牌。该公司生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

德国CGS GmbH公司
德国Crystal Growing Systems (CGS) GmbH公司成立于1999年8月,其前身为德国莱宝公司晶体生长部。目前其产品已经覆盖生产6”到16”单晶硅棒的设备,设备主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分别为60kg、150kg、300kg,400kg。

中国西安理工大学研究所
国内以西安理工大学的晶体生长设备研究所为代表,自61年起开始生产晶体生长设备。主要产品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛机电工程有限公司是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀,自主研发了真正的全自动控制系统,产品迅速占领了IC级硅材料行业和高端太阳能行业,主要产品有TDR80A-ZJS、 TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR85A-ZJS、TDR95A-ZJS、TDR112A-ZJS。

晶体炉特点
HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。
全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保证控温精度。质量流量计精确控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的精确控制。质量流量计精确控制氩气流量。
自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。
加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。
特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。

3. 单晶硅棒原材料是什么

原料是高纯多晶硅。多晶硅在直拉单晶炉中熔化,用籽晶拉出单晶棒。
现在最新技术也用铸锭炉生产单晶硅,获得大尺寸的单晶硅。
江苏中能、江西赛维LDK、四川新光硅业、峨嵋半导体、重庆大全、河南中硅等生产改良西门子法高纯多晶硅。目前纯多晶硅供应偏紧。

4. 单晶硅生长炉各种配件

炉子本体包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。机架由底座、上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置安装在底座内的平台上,主炉室(由炉底板、炉底、炉筒和炉盖组成)安装在底座的上平面上,上面与翻板阀密封联结,副室放在翻板阀上,提拉头安装在副室上,坩埚驱动装置与炉室通过波纹管密封联结,液压系统中提升油缸安装在下立柱上。液压泵放在主机附近的适当位置,真空系统、水冷系统固定在机架上,主炉室是炉子的心脏部位,热场系统安装在内。

另外还有电气部分,控制柜、加热系统等。

易损件就是。o型圈、石英玻璃、镀金石英玻璃、籽晶吊绳、送你份汉宏炉的易损件清单。

5. 单晶硅生长炉的介绍

单晶硅生长炉1是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
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6. 单晶硅生长炉属什么行业,四位行业代码是什么

您好,您问的是生产单晶硅还是单晶硅炉呢?
如果是生产单晶硅 的编号是319
单晶硅炉的编号是 362
希望能帮到您

7. 单晶炉器盖距是指什么

通过氟橡胶O型圈实现真空密封。
单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。
比如120、150等型号是由投料量决定,85炉则是指主炉筒的直径大小。单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。
所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0。6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。

8. 请教,单晶硅棒生长炉,现在国内的主要设备型号和价格,还有电话,谢谢

主要的有85和90型单晶硅生长炉,然后配不同的生长控制柜。价格不太清楚

9. 单晶炉什么东西

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅版等多晶材料熔化权,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉的构成:
1、提拉头:主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成
2、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
3、炉盖:副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成
4、炉筒:包括取光孔。
5、下炉筒:包括抽真空管道。
6、底座机架:全铸铁机架和底座。
7、坩埚下传动装置:主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。
8、分水器已经水路布置:包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。
9、氩气管道布置:质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。
10、真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。
11、电源以及电控柜:电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。

10. 单晶硅生长炉操作工,工作是什么样的待遇,环境怎么样

工作:是3班倒。
待遇:首先要做3个月的实习工,每天12小时制,上3天休俩天,一个月下来也就
是1200左右,转正以后根据给你的单晶炉和自己的技术走的是产量给工资,那就要看看炉子的性能和收率以及成晶率,那样的话可以每台炉子大概是挣1000,我现在是一个人看的4台单晶炉。
环境:还算不错,只要公司到位,我们走的都是6S路线

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